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勻膠機是在旋轉的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備，膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。
選購巧
從其原理來說，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個細節(jié)
旋轉速度
轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。
真空吸附系統(tǒng)的構
真空泵定要無油的，壓力標定準確，油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況。
材質的選擇
對于半導體化行業(yè)的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低，不銹鋼的對于各類化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。
旋轉涂覆術
旋轉涂覆術所使用的設備是勻膠機。又稱甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機，總的來說，他們原理都是樣的，即在速旋轉的基片上，滴注膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉速度及時間有關。
從其原理來說，勻膠機有以下兩個特點。
(1)旋轉速度
轉速的快慢和控制度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速誤差很大，對于要求涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。
(2)真空吸附系統(tǒng)
真空泵般采用無油泵，即通常說的干泵，因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生"飛片"的情況，還會讓滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)成*堵塞。有的勻膠機通過聯(lián)動機制，當真空吸附力不夠時不會開始旋轉。這樣可有效避免滴的膠液不慎入真空管道系統(tǒng)。
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