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        1. 合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
          中級會員 | 第7年

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          PECVD

          參  考  價面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準

          產(chǎn)品型號

          品       牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地合肥市

          更新時間:2024-04-29 10:13:29瀏覽次數(shù):3149次

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          PECVD化學(xué)氣相沉積多通道質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里,移動柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時,可將設(shè)備置于移動柜上以節(jié)約空間。
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            工作溫度:5~45?C
           
            zui大壓力:3x106 Pa
           
            精度: ±1.5% FS
           
            線性:±(0.5-1.5)%F.S
           
            重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
           
            流量范圍:
           
            一路:1~199 SCCM
           
            二路:1~499 SCCM
           
            PECVD注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用
           
            化學(xué)氣相沉積設(shè)備CVD1200C-II-SL200D50-5Z雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動并可實現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實現(xiàn)對管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長、沉積,是一款實驗室常用設(shè)備技術(shù)參數(shù)

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