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        1. 合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司
          中級(jí)會(huì)員 | 第7年

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          當(dāng)前位置:合肥康帕因設(shè)備技術(shù)有限公司>>實(shí)驗(yàn)設(shè)備>>CVD系統(tǒng)>> (含預(yù)熱器)雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)

          (含預(yù)熱器)雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)

          參  考  價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào)

          品       牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地合肥市

          更新時(shí)間:2019-05-19 16:29:05瀏覽次數(shù):1019次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn)
          (含預(yù)熱器)雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng) 雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備

          設(shè)備描述

          CVD1200C-II-SL  200D50-5Z(含預(yù)熱器) 雙溫區(qū)滑軌式CVD系統(tǒng)由預(yù)熱爐、雙溫區(qū)滑軌爐、質(zhì)子流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)三部分組成。雙溫區(qū)滑軌爐可移動(dòng)并可實(shí)現(xiàn)快速升降溫;PLC控制5路質(zhì)子流量器,能夠精確控制系統(tǒng)的供氣;真空泵可實(shí)現(xiàn)對(duì)管式爐快速抽真空。CVD(化學(xué)氣象沉積系統(tǒng))常用于表面材料生長(zhǎng)、沉積,是一款實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備

          技術(shù)參數(shù)

           

           

           

           

           

           

           

           

           

          雙溫區(qū)滑軌爐LFT1200C-II 200D50

          爐體結(jié)構(gòu)

          該設(shè)備采用雙層殼體并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使其爐體表面溫度都小于55℃

          ·           爐底安裝一對(duì)滑軌,可手動(dòng)滑動(dòng),以便滿足特殊工藝的快速升降溫的要求。

          爐管尺寸

          Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)

          功率

          5kW

          輸入電壓

          220VAC 單相 50/60Hz

          加熱元件

          Cr27Al7MO2(摻鉬鐵鉻鋁合金)

          高溫度

          高溫度:1200℃ 

          額定溫度:1100℃

          升溫速率

           ≦10℃/min(推薦)

          加熱區(qū)長(zhǎng)度度

          ·         兩個(gè)加熱區(qū)的長(zhǎng)度都是200mm

          ·         分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

          恒溫區(qū)長(zhǎng)

          ·         100+100mm(±1℃)

          ·         可獲得較長(zhǎng)恒溫區(qū)間

          控溫精度

          ·          ±1℃

          快速連接法蘭

          ·         Φ50快結(jié)式不銹鋼真空法蘭

          ·         打開法蘭直接卸下卡箍即可,取放樣品方便
          另配備有可調(diào)節(jié)高度的法蘭支架

           

           

          預(yù)熱爐

          功率

          ·         1kw

          加熱區(qū)

          ·         100mm

          高溫度

          ·         1200℃

          工作溫度

          ·         200-800℃(可根據(jù)實(shí)際工藝需求調(diào)整)

           

           

          五路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

          MFC-5Z

          電壓

          220VAC  單相  50/60Hz

          針閥材質(zhì)

          316不銹鋼

          量程

          50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根據(jù)工藝要求提供多種量程選擇)

          工作溫度

          5~45℃

          外型尺寸

          600(L) x 600(W) x 700(H) mm

          電壓

          AC220V/50Hz單相

          功率

          23W

           

           

          真空系統(tǒng)

          LVU-10

          殼體尺寸

          ·         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

          大承載量

          ·         1000 Lbs 

          抽氣速率

          ·         10m³/h

          ·         極限真空度:10-1Pa

          ·         雙層立式油污過濾器(PE材質(zhì))與真空泵連接

          質(zhì)保期

          一年質(zhì)保期,(相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件)

           

           

           

           

          使用注意事項(xiàng)

          ·         爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

          ·        

          ·         當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

          ·         石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

          ·         對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

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