光學(xué)器件

在顯微鏡中，景深往往被視為一種經(jīng)驗參數(shù)。實際上，它是由數(shù)值孔徑、分辨率和放大倍率之間的相關(guān)性確定的。為了得到最佳視覺印象，現(xiàn)代顯微鏡的調(diào)整選項會在景深和分辨率（在理論上，這兩個參數(shù)具有負(fù)相關(guān)性）之間構(gòu)成一種最佳平衡。

在DIN/ISO標(biāo)準(zhǔn)中，樣本一側(cè)的景深被定義為“樣本平面兩側(cè)空間的軸向深度（在樣本平面中，樣本可以移動，圖像聚焦的清晰度不會受損，同時圖像平面和物鏡的位置保持不變）。"但是，上述標(biāo)準(zhǔn)并未提供任何提示，闡明如何測量焦點惡化的檢測界限值。尤其是放大倍率較低時，景深可以通過縮小鏡頭光圈（即減小數(shù)值孔徑）而顯著增加。這通常是通過孔徑光闌或孔徑光闌共軛平面上的光闌來完成的。然而，數(shù)值孔徑越小時，橫向分辨率就越低。因此，問題是找到分辨率與景深（取決于樣本結(jié)構(gòu)）之間的最佳平衡。

樣本結(jié)構(gòu)

樣本表面結(jié)構(gòu)包含樣本的所有部分的特性，包括表面的色彩和亮度特性。如前所述，自動變焦原理建立在有條理的方法基礎(chǔ)上。樣本中清晰和離焦區(qū)域劃分得越明確，表面模型的效果就越好。該方法特別適用于反差度好的結(jié)構(gòu)。在很多顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域，照明都占據(jù)重要地位，常常是決定成敗的關(guān)鍵所在。如果選擇的照明方式適當(dāng)，即使樣本的結(jié)構(gòu)非常少，亦可對其進行記錄。例如，可以選擇傾斜入射光照明方式，令隱藏的微小結(jié)構(gòu)清晰可見。

垂直方向上的機械分辨

在這個等式中，第三個影響因素是垂直方向上的機械分辨率，該術(shù)語表示調(diào)焦驅(qū)動器（通常為電動） z 軸上的最小可能步距。為了充分發(fā)揮光學(xué)器件的性能，最小可能步距必須小于當(dāng)前所用景深，否則，圖像數(shù)據(jù)就會丟失。例如，電動調(diào)焦驅(qū)動器分辨率為 10μm，則適當(dāng)景深為 15μm。

Leica DVM 系統(tǒng)的橫向和垂直分辨率取決于各種不同的影響因素，例如，表面結(jié)構(gòu)或照明器，因此，必須根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域予以確定。利用插值法獲取一半應(yīng)用景深的垂直分辨率。由所用放大倍率的數(shù)值孔徑來確定橫向分辨率。

景深 —— Berek 公式

在視感景深這個問題上，Max Berek 是首先發(fā)表觀點的作者，早在 1927 年他就發(fā)表了經(jīng)過大量實驗得來的結(jié)果。Berek 公式給出了視覺景深的實際值，因而沿用至今。Berek 公式的簡化形式如下：

TVIS：視感景深

n：樣本位于其上的介質(zhì)的折射率。如果樣本被移開，則在公式中輸入介質(zhì)的折射率，該介質(zhì)形成變化的工作距離。

λ：所用光的波長，對白光來說，λ = 0.55μm

NA：樣本一側(cè)的數(shù)值孔徑

MTOT VIS：顯微鏡的視覺總放大倍率

如果以上方程中，視覺總放大倍率為有效放大倍率所取代（MTOTVIS = 500-1000 x NA），則可以看出，景深的第一個近似值與數(shù)值孔徑的平方成反比。

照明

選擇適當(dāng)?shù)恼彰鞣绞綄τ趯崿F(xiàn)成功檢測至關(guān)重要。徠卡顯微系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計，令您可以為所選光學(xué)器件搭配最佳照明方式，滿足特定應(yīng)用領(lǐng)域的需求。您可以選擇如下照明方式：

可變傾斜入射光照明

該方法可以改變照明方向：垂直-橫向。這種照明方式尤其適用于觀察劃痕或小的凹槽。

入射光下的硬幣

傾斜入射光下的硬幣

擴散片

在很多情況下，照相機的動態(tài)范圍對發(fā)光表面的照明不夠充分，因為樣本的很多區(qū)域都被過度曝光了。擴散片能夠可靠地減少曝光過度的區(qū)域。

不帶擴散片的焊點

帶擴散片的焊點

同軸照明器

同軸照明器適用于很亮或反射性很高的表面，例如，晶片或金屬型材。

同軸半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)

照明

偏振光

偏振光用于抑制反射或?qū)λ苄圆牧线M行記錄。

偏振光下的塑性材料

偏振光下的發(fā)條裝置

帶直射光的同軸照明器

在這里，直射光可以構(gòu)建樣本的三維效果。在很多情況下，這有助于更精確地進行表面分析。

同軸照明下的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)

直射光同軸照明下的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)