粗糙度儀極細(xì)孔?齒輪齒腹型測(cè)針——DM43811東京精密粗糙度儀測(cè)針
規(guī)格：測(cè)針針尖半徑——2μmR,，測(cè)針材質(zhì)——60° 圓錐金剛石,測(cè)針測(cè)力——0.75 mN
摘要：全姿勢(shì)
選擇東京精密產(chǎn)品——驅(qū)動(dòng)
對(duì)位技術(shù)
為了不損害線性馬達(dá)的超低振動(dòng)特性，安裝在X軸驅(qū)動(dòng)部的手動(dòng)進(jìn)給機(jī)構(gòu)在實(shí)際測(cè)量時(shí)，自動(dòng)將手動(dòng)齒輪機(jī)構(gòu)與線性測(cè)量機(jī)構(gòu)的連結(jié)分離開來。這樣既確保了良好的操作性，又獲得了高精度。
實(shí)現(xiàn)世界突破性的高速測(cè)量
線性驅(qū)動(dòng)部與無(wú)效運(yùn)動(dòng)極少的以1/100秒為單位的聯(lián)合控制與啟動(dòng)響應(yīng)相結(jié)合，大幅縮短了總測(cè)量時(shí)間。進(jìn)行三維粗糙度測(cè)量時(shí)，測(cè)量時(shí)間為“傳統(tǒng)測(cè)量時(shí)間的1/10×測(cè)量線數(shù)"。測(cè)量時(shí)間短，室溫變化
等的測(cè)量誤差要素的影響就小，這直接關(guān)系到測(cè)量結(jié)果的可靠性。
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