在半導體晶圓制造，平板，太陽能電池板和LCD制造設備中的各種機電設備對其潤滑劑的要求越來越高。今天的潤滑劑必須能夠處理更高的負載，更高的溫度，延長部件的使用壽命，并提高生產(chǎn)率，同時消除或減少空氣中的分子污染或釋放可能使高速檢測系統(tǒng)中的光學器件霧化甚至污染晶片的蒸汽。

   比瑟奴T.GREASE-58/HS 超真空潤滑脂的出現(xiàn)，旨在改善高速軸承，運動控制直線導軌，真空泵以及半導體制造設備中使用的其他組件的性能并延長其使用壽命，這些設備專為沉積等工藝而設計，離子注入，蝕刻，光刻和晶片測量和檢查。在半導體芯片，激光二極管和晶體等低溫測試中很重要，T.GREASE-58/HS真空潤滑脂用于改善樣本船和恒冷器冷頭之間的熱接觸。這種低溫熱接觸潤滑脂確保樣品在盡可能*的溫度下提高測試靈敏度。

    T.GREASE-58/HS擁有在低溫條件下提高熱接觸的良好記錄。它對于冷卻系統(tǒng)耦合超導磁體，低溫恒溫器，溫度傳感器或任何須盡快達到低溫冷凍的系統(tǒng)很重要。低磁化率也使其成為超導體制造應用的理想選擇。雖然速度，均勻性和清潔度使自動裝配設備成為半導體制造的標準，但他們也提出了一個關(guān)于潤滑的難題。 油和潤滑脂確實可以幫助生產(chǎn)線上的機器人，拾取和放置站，輸送機，閥門，開關(guān)和其他設備運行更好，使用壽命更長。 但它們也會導致空氣中的分子污染，或者更糟糕的是，它會釋放蒸汽，使高速檢測系統(tǒng)中的光學系統(tǒng)霧化，甚至污染晶圓。然而，可以小化或消除與潤滑劑相關(guān)的問題。 

   50多年來，比瑟奴一直與歐洲宇航局和商業(yè)航空航天業(yè)的*合作，為關(guān)鍵任務組件提供潤滑劑服務，同時解決除氣，污染等問題。除氣會降低潤滑劑的有效性，并可能污染附近的部件。公司經(jīng)過多年不懈的努力，*開發(fā)出多款真空潤滑脂/超真空潤滑脂、真空密封脂。比瑟奴超真空潤滑脂可在真空度達10^-12毫巴的超真空環(huán)境中正常工作。我們的產(chǎn)品擁有特殊配方，技術(shù)。能夠長期保持柔軟及柔順，不易變質(zhì)或變硬，低蒸氣壓，從而實現(xiàn)長的工作維護周期。目前，大部分研究在其他行業(yè)得到了回報，其中PSEINU正在應用這項技術(shù)設計潤滑劑，用于潔凈室，實驗室和半導體制造設施的組件和子組件，包括真空和非真空應用。真空應用領域一般分為玻璃廠真空鍍膜線設備，真空爐，采用比瑟奴T.GREASE-55 通用型真空潤滑脂，在自動化、運動控制系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、真空高低溫步進電機，真空防輻射步進電機，真空高低溫減速機，真空高低溫位移臺絲桿，真空防輻射位移臺，真空高低溫防輻射轉(zhuǎn)臺滑軌絲桿，真空離子規(guī)及控制器，真空線纜以及驅(qū)動控制系統(tǒng)等條件下采用比瑟奴T.GREASE-59/BG超真空潤滑脂和T.GREASE-55通用型真空潤滑脂。在航空航天以及太空領域如：航天器、人造衛(wèi)星、火箭系統(tǒng)等，則采用比瑟奴T.GREASE-56NL 超真空低溫潤滑脂，并作為低溫真空潤滑脂得到廣泛認可和推薦。這種低溫潤滑脂是專門配制用于在低溫下表現(xiàn)出無裂紋性能特點，并且承受在低溫 -265°C 和 +80°C 之間溫度交替環(huán)境中。有能力填充臨近表面的微孔，所以改善了熱接觸。無硅真空潤滑脂相關(guān)的污染問題,例如‘蠕變’或者‘滯留’在 20°C 蒸氣壓力為 6 x 10^-10 托有內(nèi)置的輻射抗性具有強大的‘吸附’能力，其可吸收在金屬和玻璃表面潛在的有害潤滑脂和化學雜質(zhì)易溶于碳氫化合物溶劑，方便清潔除垢。

    例如：航空航天工業(yè)幾十年來一直致力于為關(guān)鍵任務部件提供合格的潤滑油 - 解決潤滑劑除氣，污染和饑餓等問題。 大部分研究現(xiàn)已成功應用于設計潔凈室，實驗室和半導體制造設施中的子組件潤滑劑。潤滑劑減少摩擦，相鄰材料的法向力乘以摩擦系數(shù)（μ），這是在剪切和壓縮（μ= S / P）下較軟材料對塑性變形的抵抗力。在接觸表面之間添加潤滑劑可降低摩擦系數(shù)，從而減少部件磨損并終延長使用壽命。固體和液體可用作潤滑劑。固體潤滑劑包括石墨，二硫化鉬和聚四氟乙烯（PTFE）粉末，容易磨損。通常，所有合成油都能承受更寬的溫度，并且與天然的同類產(chǎn)品在化學上更均勻。特定的合成油具有額外的優(yōu)點，將在下面討論。通常，油被用于跳蚤動力裝置，其中即使是輕的潤滑脂也不會克服可用的扭矩。潤滑脂落在固體和液體潤滑劑之間。

    半固體，是一種用增稠劑固定的油。與需要緊密密封的儲存器以防止遷移的油不同，潤滑脂依賴于肥皂，粘土或固體潤滑劑增稠劑可將潤滑液保持在需要的地方。為任何應用選擇合適的潤滑劑需要仔細考慮其每種成分，從基礎油開始，這是任何潤滑劑的*百分比組成。合成基礎油化學的一般類別包括：合成聚α-烯烴（PAO），合成酯，硅氧烷，多烷基化環(huán)戊烷（MAC），聚苯醚（PPE）和全氟聚醚（PFPE）。每個都為潔凈室和半導體制造帶來了不同的優(yōu)勢。 PAO通常是成本*的替代方案。它們具有良好的抗磨特性，并且具有使用傳統(tǒng)添加劑的能力。但是，在較高的溫度或小的除氣是至關(guān)重要的情況下，PAO并不總是如此達到。

    合成酯和有機硅在性能和成本方面均優(yōu)于PAO。因為酯類具有高極性，在室溫下確定高分子量潤滑劑的蒸氣壓是不實際的，因為痕量除氣將非常難以測量。因此，Langmuir方程用于計算幾個高溫下的蒸汽壓力，這些值用于推算25°C時的蒸汽壓力。它們本質(zhì)上是良好的邊界潤滑劑。與PAO相比，它們具有更低的蒸氣壓和更高的熱氧化穩(wěn)定性。但是，酯應該引起警告。它們與許多商業(yè)聚合物和彈性體發(fā)生化學反應，并且它們在酸，堿和某些金屬存在下易于化學分解。在任何一種情況下，潤滑劑性能和組件都會嚴重受損。有機硅代表了比PAO和酯顯著改善的性能。它們具有更寬的使用溫度范圍，優(yōu)異的低揮發(fā)性特性和良好的熱氧化穩(wěn)定性。然而，它們是非常“可壓縮的”分子。雖然這種特性在潤滑塑料和輕負載金屬方面沒有問題，但是在更高負載的金屬對金屬應用中，有機硅不能提供與酯或PAO相同的耐磨性。MAC，PPE和PFPE--所有高分子量材料 - 代表了合成化學潤滑的*發(fā)展。雖然它們的價格相應較高，但它們*的性能使它們非常適合半導體制造的需求。 MAC表現(xiàn)出極低的蒸氣壓，可以通過特定應用的添加劑輕松強化，并提供良好的熱氧化穩(wěn)定性和化學相容性。 PPE在潤滑電連接器方面具有悠久的歷史。它們具有出色的蒸汽壓力特性和*的優(yōu)勢 - 增強輻射抗性的標準 - 比其他合成化學品好一到兩個數(shù)量級。雖然在邊界潤滑條件下不如其他一些合成化學品那樣堅固，但PFPE在真空關(guān)鍵應用中已經(jīng)*，特別是當?shù)驼魵鈮海瑢挏囟?，化學惰性和材料兼容性很重要時。

     雖然每種潤滑劑的設計應滿足溫度，負載，扭矩和其他特定設備的要求，但真空或潔凈室應用的潤滑劑也必須滿足剛性蒸汽壓力標準。蒸氣壓是由在液體表面正上方的假想表面上進入氣相的分子施加的每單位面積的力。在潤滑設計中，該特性在比較不同油或其他潤滑劑組分變得易揮發(fā)的趨勢時非常有用，這增加了蒸發(fā)損失造成污染的可能性。因此，蒸汽壓越低，潤滑劑越好。在真空中測量的潤滑劑的蒸氣壓可以使用Langmuir方程式確定：P=17.14 G（T / M）1/2，其中P是以Torr為單位的蒸氣壓，G是除了選擇低蒸氣壓和高分子量的基礎油外，顆粒污染控制是另一個重要的潤滑油標準。真空和潔凈室應用。在潤滑劑的制造過程中，灰塵，污垢，甚至不適當分散的增稠劑都會夾帶在油或油脂中。例如，在滾動軸承中，顆?；蚋骄鄣脑龀韯茐膶⑶蚺c滾道，疤痕球和滾道分開的彈性動力薄膜，從而損害性能并縮短操作壽命。事實上，隨著材料科學的進步，大多數(shù)軸承都失敗了，蒸發(fā)速率，單位為克/平方厘米/秒，T是以°K為單位的溫度，M是所討論材料的分子量。在設計潤滑劑時，要潤滑的裝置的表面積（G因子）和操作環(huán)境的溫度都是允許的。因此，上述等式強調(diào)了分子量的重要性，分子量是選擇基礎油的一個變量，用于設計低蒸汽壓潤滑劑。低釋氣的*候選物是具有高分子量的基礎油- MAC，PPE和PFPE等材料。此外，由于基礎油中的每個分子可具有略微不同的分子量，因此更好地縮小分子量范圍。通過特殊的蒸餾工藝，可以在潤滑劑制造過程中去除較輕的材料，而不是等待它們在工作中揮發(fā)和污染。值得注意的是，雖然大多數(shù)“真空潤滑劑”供應商都了蒸汽壓力數(shù)據(jù)，但這些數(shù)據(jù)很少是測量每批潤滑劑的結(jié)果。如果沒有嚴密的控制，兩批相同潤滑劑的蒸汽壓可能會有所不同，幾個數(shù)量級。因此，為了*地利用蒸汽壓力數(shù)據(jù)來確定潤滑劑的排氣潛力，應該進行每批次的分析。通常，任何低于超潔凈潤滑劑的物質(zhì)都會影響設備的準確性，可重復性和使用壽命。超濾可以改善這些問題。一種先進的生產(chǎn)前和生產(chǎn)后過濾過程，超濾使?jié)櫥械脑龀韯┚鶆蚧?，去除油中小?微米的顆粒物和油脂中35微米的顆粒物（參考，一粒沙粒約為650微米）。由于各種*標準定義了潤滑劑的清潔度，超濾至少會告訴用戶潤滑劑中顆粒的相對尺寸，并且該信息可用于預先確定這是否對操作有害。半導體工業(yè)包含大量機電設備，其性能和使用壽命取決于選擇合適的潤滑劑。沒有一種化學能滿足所有需求。然而，在各種基礎油化學品，膠凝劑和添加劑中的某些地方，與在真空和潔凈室環(huán)境中設計和制造潤滑劑的方法相結(jié)合半導體制造環(huán)境中的每個組件都存在理想的真空潤滑劑。