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OLS 4500使無縫觀測和測量成為可能

測量工業(yè)顯微鏡OLS 4500可以快速定位感興趣的區(qū)域，使用各種類型的無縫放大觀測，將物體保持在視場內(nèi)。
方法。

采用白色LED作為光源，保證彩色圖像清晰，具有色彩再現(xiàn)性。這四個目標(biāo)使人們能夠在從低到高的各種放大范圍內(nèi)進(jìn)行觀察。OLS 4500充分利用光學(xué)顯微鏡的特點(diǎn)，能夠進(jìn)行BF(Brightfield)觀察-常用的差分干涉對比度(DIC)觀測，通過增強(qiáng)對比度，實(shí)現(xiàn)精細(xì)表面紋理的立體可視化，并簡化了偏振光觀測，反映了不同顏色樣品的偏振特性。其他功能包括高動態(tài)范圍(HDR)，它通過改變曝光時間來合成幾幅圖像，以獲得亮度平衡和紋理增強(qiáng)的圖像。OLS 4500可以使用各種觀測方法快速找到感興趣的區(qū)域。

BF亮場
使用的觀測方法。色彩逼真的自然形象復(fù)制。適用于高對比度樣品的觀察。

差分干擾對比度
增強(qiáng)對比度，使立體無法用BF觀察到的樣品的可視化。適用于金屬結(jié)構(gòu)、硬盤和拋光晶圓表面等鏡面樣品的缺陷和雜質(zhì)的檢測。

簡化偏振光
用反射偏振光(具有特定振動方向的光)顯示樣品的偏振特性(例如折射率)。適用于觀察金屬表面、礦物和半導(dǎo)體材料。

高動態(tài)范圍
通過合成幾幅圖像來平衡觀察明亮和黑暗區(qū)域不同的曝光時間。精細(xì)的觀察也是可能通過增強(qiáng)紋理(表面條件)。

LSM可以用光學(xué)顯微鏡可視化無法觀察到的東西。

由于波長較短的405 nm激光，高孔徑(高口徑)物鏡和共焦光學(xué)，具有很高的X-Y分辨率，使光學(xué)顯微鏡下不可見的物體在清晰的圖像中被觀察到。激光DIC觀測使對納米微表面的實(shí)時觀察成為可能。

測量工業(yè)顯微鏡[方法]用SPM快速、準(zhǔn)確地處理感興趣的區(qū)域。

無縫放大觀測將物體保持在視場內(nèi)

四個目標(biāo)，從低到高的放大安裝在機(jī)動旋轉(zhuǎn)噴嘴與SPM單元。50倍和100倍的現(xiàn)場觀察模式使用光學(xué)顯微鏡或LSM將SPM掃描區(qū)域放置在場的中心。通過在區(qū)域上設(shè)置目標(biāo)標(biāo)記并切換到探針掃描模式，可以準(zhǔn)確地接近感興趣區(qū)域。這意味著一次SPM掃描就可以得到目標(biāo)圖像，提高了工作效率，減少了懸臂梁的磨損。

方便切換到SPM觀測的指南

SPM觀測的準(zhǔn)備工作，如懸臂安裝和掃描面積設(shè)置，可以通過引導(dǎo)顯示進(jìn)行，這意味著即使是經(jīng)驗(yàn)較少的操作人員也可以安全地進(jìn)行初步工作。

簡單操作的快速測量

降噪SPM磁頭

緊湊型SPM掃描儀頭

OLS 4500采用鼻片式SPM掃描儀頭。由于目標(biāo)和懸臂端在同軸、旁焦定位中，即使切換到SPM模式，觀察點(diǎn)也不會從視野中消失。緊湊型SPM頭提高了剛度，降低了圖像噪聲，提高了響應(yīng)能力。

按要求放大區(qū)域的導(dǎo)航器

導(dǎo)航器功能允許通過進(jìn)一步提高放大率來地查看用探針掃描模式獲取的圖像中所需的區(qū)域。通過簡單設(shè)置光標(biāo)放大區(qū)域和啟動探針掃描即可獲得目標(biāo)圖像。掃描區(qū)域可以自由設(shè)置，使觀察和測量能夠快、有效地進(jìn)行。

導(dǎo)航儀放大10μm x 10μm圖像上的3.5μm x 3.5μm區(qū)域滿足不同要求的分析

曲率測量(硬盤凹坑)

在SPM測量模式下采集的圖像可以進(jìn)行分析，以適應(yīng)不同應(yīng)用的需要，結(jié)果可以作為CSV格式輸出。OLS 4500提供以下分析功能。

• 輪廓(曲率因子測量，包含角度測量)
• 粗糙度
• 地形(面積、表面、體積、高度、直方圖、方位比)
• 臺階(線、面積)
• 粒子分析(可選)
• 六種SPM測量模式，易于跟蹤制導(dǎo)顯示。

接觸方式

該模式通過懸臂梁靜態(tài)掃描設(shè)定區(qū)域，同時保持懸臂和試樣之間的排斥力，以直觀地顯示樣品的高度信息。它也可用于力曲線的測量。

金屬薄膜

動態(tài)模式

該振型使懸臂梁在諧振頻率附近振動，并控制Z方向距離使振動振幅常數(shù)，從而直觀地顯示樣品的高度信息。適用于具有柔軟表面的樣品，如聚合物或粘性材料。

鋁表面

相位模式

該模式在動態(tài)模式掃描過程中檢測懸臂梁振動的相位延遲。它可以直觀地顯示樣品表面物理性質(zhì)的差異。

聚合物膜

電流模式

該模式對樣品施加偏置電壓，以檢測和可視化懸臂梁和樣品之間的電流流動。它也可用于I/V測量。

硅襯底上SiO 2圖案的樣品。高度圖像(左)中的黃色區(qū)域是SiO 2，在當(dāng)前圖像(右)中顯示藍(lán)色(沒有電流的區(qū)域)。這些圖像表明，基板具有無電流的區(qū)域。

表面勢模

該模式通過導(dǎo)電懸臂梁施加交流電壓，檢測懸臂梁與樣品之間的靜電作用力，并將樣品表面的電勢可視化。

磁帶樣本。表面電位圖像表明，幾百mV的電位差分布在樣品表面。這種分布被認(rèn)為是在磁帶表面的潤滑層中存在不規(guī)則現(xiàn)象。

磁力模式(MFM)

該模式以相位模式掃描磁化懸臂梁的設(shè)定區(qū)域，檢測懸臂梁振動中的相位延遲，然后將樣品表面的磁信息可視化。

硬盤樣本。圖像顯示了磁性能的分布。

LSM允許靈活地處理各種樣本。

成像斜率達(dá)85°

由于具有高數(shù)值孔徑的物鏡和通過405 nm激光獲得光學(xué)系統(tǒng)，OLS 4500能夠可靠地測量以前無法測量的銳角樣品。

LEXT物鏡

銳角剃刀

高分辨率微輪廓測量

利用波長為405 nm的短波激光和高孔徑物鏡，可獲得0.12μ的X-Y分辨率。因此，OLS 4500可以對樣品表面進(jìn)行亞微米測量。這允許高清晰度成像，能夠準(zhǔn)確測量從亞微米到數(shù)百微米范圍的高度。此外，OLS 4500還能保證測量值的“精度”，即測量值與其真實(shí)值的距離有多近，以及指示重復(fù)測量值之間的變化程度的“重復(fù)性”，兩者都顯示了測量工具的性能。

0.12μm線與空間模式

廣域內(nèi)的任何圖像采集區(qū)域

雖然高倍圖像的視場一般較窄，但OLS 4500的拼接功能可以通過625幅圖像的拼接，提供高分辨率、寬視場的圖像數(shù)據(jù)。獲得的寬視場圖像可以進(jìn)行三維顯示和三維測量.