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Haehne BUSBOX-PS2-1,5 123810 放大器

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測(cè)量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。
與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。
如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測(cè)量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進(jìn)而得到氣壓大小。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。
經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。
由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時(shí)也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定
如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測(cè)量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。
這種規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。
與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時(shí)需要在不同氣體下標(biāo)定。