FLY-MX12顯微鏡光學技術(shù)在亮度 、對比度和可操作性方面達了一個新的高度， 適合晶圓或者顯示面板的高級檢查

FLY-MX12(落射照明型)

z大樣品尺寸：  ?300mm晶片

載物臺行程：350 × 300mm

放大倍率：50X - 1000X

(依目鏡和物鏡而定)

高對比度，幾乎無雜光

為大幅度地減少雜光現(xiàn)象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能。另外,目鏡筒內(nèi)部的反射次數(shù) 也減少了,進一步減小了出現(xiàn)雜光的可能性，同時獲得了前所wei有的高對比度。

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像

半復消色差物鏡

富萊半復消色差物鏡實現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn)，高透過率鏡片和先進的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像

調(diào)節(jié)手輪集中在機身前部

主要調(diào)節(jié)手輪和按鈕均位于底座前部， 在觀察樣品的同時可進行快速、 方便的操作，長時間觀察能大幅度地減輕疲勞。

防靜電能力更強

機身、載物臺、目鏡筒和各調(diào)節(jié)手輪均涂有消靜電涂層，提高了抗污染能力，防止樣品因靜電感應而受損，從而提高成品率。

諾瑪斯基DIC觀察法（選配）

采用單棱鏡(Senarmont)系統(tǒng)，只 需在物鏡轉(zhuǎn)換器插入一個諾瑪斯基棱鏡，  即可以 任一倍率進行DIC觀察。即使進行低倍率觀察， DIC圖像也同樣清晰而鮮明，  幾乎沒有色陰影。 高對比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像。

X-Y微調(diào)操作手輪

X-Y微調(diào)操作手輪的固定位置*，  位于接近操作員之處，  這一特 性使操作員不必伸長手臂移動載物臺。樣品移動和對焦可由單 手在桌面上的完成，使操作員得以將注意力集中在樣品觀察上。

明場觀察

無限遠光學技術(shù)產(chǎn)生高亮度、高對比度的圖像。

暗場觀察

新開發(fā)的暗場照明光學技術(shù)極大地提高了圖像亮 度，增強了檢測樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力。

技術(shù)規(guī)格：