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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
尼康金相顯微鏡 L300N/L300ND
集尼康光學(xué)技術(shù)于一身的CFI60光學(xué)系統(tǒng)，在亮度、對(duì)比度和可操作性能方面都達(dá)到新的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級(jí)檢查。
大觀察樣品:
ECLIPSE L300 300 mm硅片；ECLIPSE L300D 300 mm硅片； ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。
觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
使用CFI60光學(xué)系統(tǒng)，*消除耀斑影響，對(duì)比度更高，成象更加清晰、明亮；
物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數(shù)值孔徑和長(zhǎng)工作距離兩方面的要求；
主機(jī)剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
光亮調(diào)節(jié)、孔徑調(diào)節(jié)、物鏡轉(zhuǎn)換等操作都集中在前面，使用方便，即使長(zhǎng)期操作也不易產(chǎn)生疲勞；
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡主要特點(diǎn)
• 專為300mm晶圓和光罩檢測(cè)
• 利用更高的分辨率，對(duì)比度和透射CFI60光學(xué)系統(tǒng)
• 更高的亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡
• 新光源和四次美好的透射照明，*的光學(xué)設(shè)計(jì)結(jié)果
•預(yù)中心的燈箱提供更高的亮度，同時(shí)僅消耗一半的電力，并減少熱致離焦
• 電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器比傳統(tǒng)模式更耐用三倍
應(yīng)用 • 晶圓 • 液晶顯示器 • 其他各種檢查
兩種機(jī)型可供選擇：
• L300N：Episcopic照明類型
大樣品尺寸：300mm晶圓
*階段行程：354 x302毫米
放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
• L300ND：透射/ Episcopic照明類型
大樣品尺寸：17英寸平板顯示器（FPD）
*階段行程：354 x302毫米（透射照明范圍：354 x268毫米）
放大倍率范圍：15X - 2000X（目鏡和目標(biāo)而定）
各種各樣的觀測(cè)技術(shù)
各種各樣的觀測(cè)技術(shù)，如明場(chǎng)，暗場(chǎng)，簡(jiǎn)單的偏光，DIC和外延flourescence觀察，是可能的。 采用Epi - flourescence觀察，紫外激發(fā)可應(yīng)用于包括300mm晶圓和OLED檢查應(yīng)用。
暗場(chǎng)觀察
新開發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)顯著提高圖像的亮度和提高分鐘內(nèi)樣品的劃痕和拓樸的檢測(cè)能力。
明場(chǎng)觀察
尼康CFI60系統(tǒng) - 一個(gè)成功合并的CF光學(xué)系統(tǒng)無限遠(yuǎn)光學(xué) - 高亮度，高對(duì)比度的圖像。
Nomarski DIC的觀測(cè)
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡采用單棱鏡（Senarmont）系統(tǒng)，使所有的放大倍率DIC的觀察，通過簡(jiǎn)單地插入物鏡轉(zhuǎn)換器單Nomarski棱鏡。 DIC的圖像清晰和與小的色調(diào)明快，即使在低放大倍率。 高對(duì)比度型DIC的滑塊允許更大的敏感性形成的DIC圖像。
半兼容設(shè)計(jì)
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡符合半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)（SEMI）為安全準(zhǔn)則（S7 - 0703）和人體工程學(xué)（S8 - 1103）。 由于目鏡的位置更貼近運(yùn)營(yíng)商，不觸摸階段的運(yùn)營(yíng)商，即使是他或她的走向，確保安全，舒適地觀看。
防靜電更強(qiáng)有力的保障
靜電放電涂料已應(yīng)用于身體的階段，鏡筒（L2 - TT2型），及各種控制。 這加強(qiáng)了防止污染的保障，并避免損壞由靜電引起的樣品，從而有利于單產(chǎn)提高。
固定位置的XY控制
XY精運(yùn)動(dòng)控制仍然接近運(yùn)營(yíng)商在相同的位置，使其不必要的運(yùn)營(yíng)商，以延長(zhǎng)他或她的手臂，移動(dòng)舞臺(tái)。 因?yàn)橐苿?dòng)的標(biāo)本和重點(diǎn)，可以進(jìn)行一個(gè)手?jǐn)R在桌子上，操作者可以重點(diǎn)觀察。
簡(jiǎn)單的訪問控制
主要控制旋鈕和按鈕都位于前面的基礎(chǔ)，允許快速，操作簡(jiǎn)便，同時(shí)觀看樣品，并盡量減少在漫長(zhǎng)的觀測(cè)疲勞。
對(duì)焦目標(biāo)
重點(diǎn)目標(biāo)輕松地移動(dòng)和光路允許在低對(duì)比度的樣品，如裸晶圓容易對(duì)焦。
長(zhǎng)工作距離和高NA
趁著60毫米齊焦距離，新系列提供更長(zhǎng)的工作距離，同時(shí)保持較高的數(shù)值孔徑。 CFI60提供圖像的亮度和易于操作。 此外，光為中心進(jìn)行了改進(jìn)，以盡量減少圖像的變化，改變物鏡時(shí)可能發(fā)生的的。
傾斜三目鏡筒
傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設(shè)置允許用戶設(shè)置自己的更佳視點(diǎn)水平，以確保舒適的觀賞姿勢(shì)。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。
以小的耀斑的高對(duì)比度
傾斜三目鏡筒是超廣角的視野25毫米類型。 目鏡角度0 °和30 °之間，可設(shè)置允許用戶設(shè)置自己的更佳視點(diǎn)水平，以確保舒適的觀賞姿勢(shì)。 兩種類型提供不同的觀察/照相光路比：L2 - TT2（100:0 / 20:80）和L2 - TT（100:0 / 0:100）。
CFI60光學(xué)
尼康L300N/L300ND金相顯微鏡系列采用CFI60光學(xué)系統(tǒng) - 融合了尼康*的CF設(shè)計(jì)和尼康無限遠(yuǎn)光學(xué)性能優(yōu)良。 CFI60提供高清晰度，對(duì)比度和透射率，并提供了世界上水平高的光學(xué)性能。 已經(jīng)大大提高了圖像亮度比傳統(tǒng)的顯微鏡，使得新系列，適合各種檢查。
■ 規(guī)格
型號(hào) ECLIPSE L300 ECLIPSE L300N ECLIPSE L300ND
(反射照明型） (反射照明型） （透射/反射照明型）
基座 內(nèi)置12V-100W鹵素?zé)艄庠?；?nèi)置用于電動(dòng)控制器的電源
用于物鏡轉(zhuǎn)換器的電動(dòng)控制器、鹵素?zé)袅炼瓤刂啤⒐馊θ~片控制器
鼻輪 具備對(duì)中功能的電動(dòng)通用六座物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡 CFI60系列物鏡
照明轉(zhuǎn)換器 — — 反射/透射切換器
調(diào)焦部分 對(duì)焦:行程29mm，粗調(diào):12.7mm/轉(zhuǎn)(可扭距調(diào)節(jié).帶重新對(duì)焦機(jī)能)，
微調(diào):0.1mm/轉(zhuǎn)(以u(píng)m為單位)
反射照明 12V100W高亮度鹵素?zé)粽彰餮b置，孔徑光闌（電動(dòng).可調(diào)心）、視場(chǎng)光闌（固定.帶對(duì)焦目標(biāo)），可插入小孔光闌滑塊(OPTION)，可插入∮25mm 濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器，觀察方法：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分干涉、反射熒光（僅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明 — — 12W100W高亮度鹵素?zé)?/span>
鏡筒 L2-TTA超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（視角0～30°）
L2-TT 2A超大視場(chǎng)正立調(diào)傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
目鏡 CFI目鏡
載物臺(tái) 14x12載物臺(tái)、行程354mmx302mm（透射觀察范圍：354mmx268mm）
帶粗/微動(dòng)切換功能，微動(dòng)手輪位置固定
防靜電 從1000到10V放電時(shí)間在0.2秒以內(nèi)
耗電 1.2A/90W
尺寸 約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時(shí)）
尼康金相顯微鏡 L300N/L300ND