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主要特點
•薄膜和閥體之間金屬對金屬密封
無O形圈保證不會產(chǎn)生滲漏
•調(diào)壓閥可以用真空清洗除氣
•出口閥薄膜密封保證氣體純度
• 過濾器阻止外來污物進入
•在薄膜萬一損壞時可以從1/16”內(nèi)
螺紋螺帽放空接口通向放空管道或
回收系統(tǒng)

可選件特點
•安裝環(huán)：用于面板安裝
•.快速安裝件：方便安全地壁上安裝
•內(nèi)部氦撿漏測試和測試報告：監(jiān)測
閥內(nèi)氣體和大氣之間地內(nèi)漏。測試
報告保證漏泄率低于2 X10－8 sccs
空氣當(dāng)量
•外部氦撿漏測試和測試報告：監(jiān)測
閥內(nèi)氣體和大氣之間地內(nèi)漏。測試
報告保證漏泄率低于5 X10－7 sccs
空氣當(dāng)量
快速安裝軟管
如果需要選擇帶快速安裝可選件時,
請在定貨號后架后綴QM。
例如：HPE-3-150-580-QM
一個30” 全不銹鋼的帶單向閥的軟
管,在快速安裝可選件中帶有CGA接頭

技術(shù)指標(biāo)
zui大輸入壓力: 3000 psig
輸入壓力表頭 雙刻度:
0–4000 psig / 0–275 bar
輸出壓力范圍: 見表 I
輸出壓力表頭: 見表 I
過濾器: 40 微米
表頭尺寸: 2" 外徑
工作溫度范圍:
-40°F to 140°F
流量系數(shù):
調(diào)壓閥: Cv = 0.05
出口閥: Cv = 0.17
螺帽放空接口: 1⁄16" NPT 內(nèi)螺
紋
入口連接: CGA 296, 320, 326,
346, 350, 540, 580, 590, or 660
按定貨要求
出口連接: 1⁄4" NPT 內(nèi)螺紋
female
壓力穩(wěn)定精度:
0.04 psi /每變化 100 psi重量約: 5 lbs.

結(jié)構(gòu)材料
閥體, 螺帽及出口閥:
黃銅棒材
表頭: 黃銅
過濾器: 熔結(jié)青銅
其他接觸氣體的金屬材料:
黃銅和不銹鋼
閥座: PCTFE
摩擦套管: Teflon®
薄膜: 316 不銹鋼