東京精密E-TS-1072B重復(fù)精度標(biāo)定方法
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1.在G1?G2接觸子間放入微動臺。
2.先移動G1接觸子、控制部表示値為行程量的一半
(-210~-220μm)時固定接觸子。
3.接著移動G2接觸子、控制部表示値為0μm時固定接觸子。
?。矗?/span>G1接觸子與微動臺間放入1mm的厚度工具、取出后確認(rèn)控制部表示値。
5.〔4.〕的作業(yè)重復(fù)25次、最大値與最小値的差在0.5μm以內(nèi)。
?。叮?/span>G2側(cè)與G1側(cè)相同確認(rèn)重復(fù)精度。
7.G1側(cè)或G2側(cè)任一重復(fù)精度超過0.5μm時需再調(diào)整,重復(fù)[1.]~[6.]的作業(yè)。在范圍內(nèi)時進(jìn)行接下來的檢查。