奧林巴斯金相光學(xué)顯微鏡

奧林巴斯金相光學(xué)顯微鏡

為工業(yè)和材料學(xué)應(yīng)用而設(shè)計(jì)

奧林巴斯金相顯微鏡BX53M系列采用了模塊化設(shè)計(jì)，為廣泛的材料學(xué)和工業(yè)應(yīng)用提供了多樣化的解決方案。BX3M增強(qiáng)了與奧林巴斯Stream軟件的集成性，從而為常規(guī)顯微鏡檢查和數(shù)碼成像用戶提供了從觀察到報(bào)告創(chuàng)建的無縫工作流程。

高級的顯微觀察 便捷的顯微操作

用戶友好性

· 讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡單的照明器

· 直觀的顯微鏡控制：視場光闌和孔徑光闌的簡單設(shè)置

· 快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標(biāo)尺

· 一致的照明：智能光強(qiáng)管理

· 方便而人性化的操作

· 可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

· 基本測量功能

功能性

· 讓未見變?yōu)榭梢姡篗IX觀察

· 創(chuàng)建超景深圖像：EFI

· 輕松移動載物臺即可進(jìn)行全景拍攝：即時MIA

· 同時捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)：HDR

· 可調(diào)整滿足觀察和分析的偏好要求

· 容納各類樣品

精密的光學(xué)元件

· 的光學(xué)性能：波像差控制

· 穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

· 支持精密測量：自動校準(zhǔn)

· 無縫拼接：圖像陰影校正

全面可定制性

· 可滿足用戶要求的各種配置

· 模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)

直觀的顯微鏡控制

顯微檢查任務(wù)常常需要用很長的時間來調(diào)節(jié)顯微鏡設(shè)置、獲取圖像，以及進(jìn)行必要的測量，從而得到令人滿意的報(bào)告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業(yè)的顯微鏡培訓(xùn)，或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。

奧林巴斯工業(yè)顯微鏡BX53M通過其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和便捷的控制功能，簡化了復(fù)雜的顯微檢查任務(wù)。用戶不需要長時間的培訓(xùn)即可掌握顯微鏡的大多數(shù)功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現(xiàn)性，大程度減少了人為錯誤。

舒適且便于使用

讓傳統(tǒng)技術(shù)易于操作：簡單的照明器

照明器的設(shè)計(jì)大程度減少了顯微鏡操作過程中所必須的復(fù)雜操作。 照明器前端的旋鈕使用戶能夠輕松地改變觀察方法。操作者可以在反射光顯微鏡檢查時快速切換常用的觀察方法，比如從明場觀察到暗場觀察，到偏光觀察，以隨時改變不同類型的分析。此外，可以旋轉(zhuǎn)檢偏鏡來實(shí)現(xiàn)簡單偏光觀察的調(diào)節(jié)。

操作者能夠在經(jīng)常使用的觀察方法之間快速切換（AlSi的拋光態(tài)樣品）

直觀的顯微鏡控制：視場光闌和孔徑光闌的簡單設(shè)置

使用正確的孔徑光闌和視場光闌設(shè)置能夠獲得良好的圖像對比度，還可以充分利用物鏡的數(shù)值孔徑。指示標(biāo)志可引導(dǎo)用戶根據(jù)觀察方法和所用物鏡進(jìn)行正確的設(shè)置。

快速找到焦點(diǎn)：對焦刻度標(biāo)尺

機(jī)架上的對焦刻度標(biāo)尺可以讓操作者快速鎖定焦點(diǎn)。操作者不用通過目鏡查看樣品就可以大致地對準(zhǔn)焦點(diǎn)，從而在檢查具有不同高度的樣品時節(jié)省了時間。

一致的照明：智能光強(qiáng)管理

在初始設(shè)定時，可以調(diào)節(jié)照明強(qiáng)度，使其與編碼照明器和/或編碼物鏡轉(zhuǎn)換器的特定硬件配置匹配。

傳統(tǒng)的光強(qiáng) 

傳統(tǒng)顯微鏡中，提高了放大倍率，以及使用需要更多光線的觀察方法后，圖像會變得更暗。

智能光強(qiáng)管理

改變放大倍率或觀察方法時，顯微鏡自動調(diào)節(jié)光強(qiáng)到正確值。

方便而人性化的操作

人性化設(shè)計(jì)對所有用戶都至關(guān)重要。無論是單機(jī)顯微鏡用戶，還是集成了奧林巴斯Stream圖像分析軟件的顯微鏡系統(tǒng)用戶，都能得益于可以清晰顯示顯微鏡編碼型硬件位置的人性化操作設(shè)計(jì)的手動控制器。簡單的手動開關(guān)讓用戶能夠?qū)Ｗ⒂跇悠泛蜋z查工作本身。

用于旋轉(zhuǎn)電動物鏡轉(zhuǎn)換器的手動開關(guān)      手動控制器                    曝光按鈕

可恢復(fù)顯微鏡設(shè)置：編碼硬件

BX53M采用了新的編碼功能，將顯微鏡的硬件設(shè)置與奧林巴斯Stream圖像分析軟件整合在一起。觀察方法、照明強(qiáng)度和物鏡位置全都記錄在軟件和/或手動控制器里。編碼功能可實(shí)現(xiàn)顯微鏡設(shè)置與每幅圖像一起自動保存，從而可輕松完成此后的還原設(shè)置，以及為報(bào)表提供文檔記錄。既節(jié)省了操作者的時間，又大程度地減小了使用不正確設(shè)置的概率。當(dāng)前的觀察設(shè)置總是清晰地顯示在手動控制器和軟件上。

針對各種檢查和分析任務(wù)的功能

BX53M保留了常規(guī)顯微鏡檢查的傳統(tǒng)襯度對比法，比如明場、暗場、偏光和微分干涉。隨著新材料的發(fā)展，現(xiàn)在可以使用*的顯微鏡檢查技術(shù)來進(jìn)行更精確和更可靠的檢查，從而解決了以往很多使用傳統(tǒng)襯度對比法檢查時遇到的缺陷檢測方面的困難。新的照明技術(shù)和奧林巴斯Stream圖像分析軟件內(nèi)的圖像獲取選項(xiàng)為用戶提供了評估樣品、文檔記錄的更多選擇。

此外，BX3M還可用于比傳統(tǒng)型號更大、更重、更特殊的樣品。

MIX觀察：讓未見變?yōu)榭梢?/span>

BX3M的MIX觀察技術(shù)組合了明場和暗場照明方法。MIX照明滑塊中的LED光源，以定向暗場光線照射樣品。這種方式類似于傳統(tǒng)暗場照明，但又可為LED的不同角度光線照射提供四分象限選擇功能。這種定向暗場與明場、熒光、或偏光的組合稱為MIX照明，有助于突出顯示缺陷和區(qū)分隆起與凹陷表面。

傳統(tǒng)的

明場將光線直接照射在樣品上，暗場則使光線沿物鏡的周圍從側(cè)面照射樣品，突出顯示了劃痕和缺陷。

*的

MIX觀察是通過一個環(huán)形LED光源來形成明場、熒光或偏光與定向暗場的組合?？梢哉{(diào)節(jié)LED光源，選擇從哪個方向進(jìn)行照明。該方法可在傳統(tǒng)方法無法觀察的表面上獲得*的對比度并可突出表面特征。

即時MIA：輕松移動載物臺即可進(jìn)行全景拍攝

現(xiàn)在不需要電動載物臺，僅僅移動手動載物臺上XY旋鈕即可方便而快捷地拼接圖像。奧林巴斯Stream軟件采用圖案識別技術(shù)來生成全景圖像，為用戶提供了比單一畫面更廣闊的視野。

一枚硬幣的即時MIA圖像。

EFI：創(chuàng)建超景深圖像

奧林巴斯Stream軟件的景深擴(kuò)展成像（EFI）功能能夠獲取高度超過物鏡焦深的樣品圖像，把通過不同焦面的圖像疊加在一起，創(chuàng)建出一幅超景深圖像?？梢允褂檬謩踊螂妱覼軸機(jī)構(gòu)來執(zhí)行EFI，并可創(chuàng)建一幅高度圖，以輕松地識別樣品結(jié)構(gòu)。也可以用Stream桌面版在離線時創(chuàng)建EFI圖像。

HDR：同時捕捉高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)

高動態(tài)范圍（HDR）使用了*的圖像處理技術(shù)，能夠針對一幅圖像內(nèi)的亮度差異進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而減少了眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺效果，從而為用戶制作報(bào)告時提供專業(yè)完美的圖像。

借助HDR功能，同時清晰呈現(xiàn)出高光和暗調(diào)區(qū)域的細(xì)節(jié)
（樣品：燃油噴射器）

借助HDR功能，增強(qiáng)了對比度
（樣品：鎂切片）

*的測量

常規(guī)或基礎(chǔ)測量功能

通過奧林巴斯Stream軟件可以實(shí)現(xiàn)多種測量功能，從而使用戶可以很輕松地從圖像中獲取有用的數(shù)據(jù)。在質(zhì)量控制和檢查時常常需要對圖像進(jìn)行測量。所有級別的奧林巴斯Stream 授權(quán)軟件都包括了交互式的測量功能，比如距離、角度、矩形、圓、橢圓和多邊形。所有測量結(jié)果都與圖像文件一起保存，用于今后的文件檢索。

計(jì)數(shù)和測量

目標(biāo)探測和尺寸分布測量，是數(shù)碼圖像中重要的應(yīng)用。Stream軟件使用閾值分割方法進(jìn)行目標(biāo)探測，能夠可靠地從背景中分離目標(biāo)（比如顆粒、劃痕）。

材料解決方案

奧林巴斯Stream軟件提供了基于工作流程的直觀界面，可用于復(fù)雜的圖像分析。點(diǎn)擊按鈕即可快速、精確地執(zhí)行復(fù)雜的圖像分析任務(wù)，并且符合常用的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。由于明顯減少了重復(fù)任務(wù)的處理時間，因此材料學(xué)家們可以專注于分析和研究。還能夠在任何時候方便地添加用于夾雜物和標(biāo)準(zhǔn)評級圖對比的模塊化插件。

3D測量

使用外部電動對焦機(jī)構(gòu)時，可以快速獲取EFI圖像，并以3D視圖顯示。獲取的高度數(shù)據(jù)可用于剖面上的3D測量，或通過單視圖進(jìn)行3D測量。

3D表面視圖（粗糙度試驗(yàn)樣品）            單視圖和3D剖面測量

容納各類樣品

可以容納更多的樣品類型和尺寸

新型150×100mm載物臺在X方向上提供了比以前的型號更大的行程。再加上其載物臺板的平板式設(shè)計(jì)，可以輕松地將大樣品，或多個樣品放置在載物臺上。載物臺板上開有小孔，可用于固定樣品架。更大的載物臺為用戶提供了靈活性，使他們能夠在一臺顯微鏡上檢查更多的樣品，從而節(jié)省了寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間?？烧{(diào)節(jié)扭力的載物臺方便了高倍下窄視野的微調(diào)定位。

樣品高度和重量的高適應(yīng)性

BX53MRF-S

使用選配的模塊組件可以將高105mm的樣品放置在載物臺上。由于改進(jìn)了調(diào)焦機(jī)構(gòu)，因此顯微鏡可以容納重6kg的總重量（樣品+載物臺）。這就意味著BX3M可以檢查更大、更重的樣品，從而減少了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)所需的顯微鏡數(shù)量。通過戰(zhàn)略性地將用于6英寸晶圓的旋轉(zhuǎn)托架放置在偏離中心的位置，在100mm行程范圍內(nèi)移動時，用戶僅旋轉(zhuǎn)晶圓托架即可觀察整個晶圓表面。優(yōu)化了載物臺的扭力調(diào)節(jié)，以便于使用，舒適的手柄使用戶更易于找到樣品的感興趣區(qū)域。

樣品尺寸大小的靈活性

BXFM

如果樣品太大，難以放置在常規(guī)顯微鏡載物臺上，則可以把用于反射光顯微鏡觀察的核心光學(xué)部件組裝到一個模塊化的系統(tǒng)里。這種模塊化系統(tǒng)，就是BXFM，它可以通過一個支撐桿安裝在更大的支架上，或使用安裝托架安裝在另一臺儀器上。這就使用戶能夠充分利用奧林巴斯優(yōu)異的光學(xué)元件的優(yōu)勢，即使其樣品在尺寸或形狀上都很*。

兼容ESD：保護(hù)電子裝置，防止受到靜電放電的影響

BX3M具有ESD靜電消除能力，防止電子裝置受到由人為或環(huán)境因素而導(dǎo)致的靜電的影響。

悠久歷史的光學(xué)技術(shù)

奧林巴斯公司擁有高品質(zhì)光學(xué)儀器研發(fā)的悠久歷史，創(chuàng)造了多項(xiàng)光學(xué)質(zhì)量的記錄，保證了顯微鏡優(yōu)異的測量精度。

的光學(xué)性能：波像差控制

使用顯微鏡進(jìn)行高級研究或系統(tǒng)集成時，所有物鏡的光學(xué)性能必須標(biāo)準(zhǔn)化。奧林巴斯的UIS2物鏡提供了波像差控制，大程度減小了會降低分辨率的像差，從而獲得的數(shù)值孔徑（NA）和工作距離（WD）性能指標(biāo)。

穩(wěn)定的色溫和高強(qiáng)度白光LED照明

BX3M為反射光和透射光照明提供了高強(qiáng)度的白光LED光源。無論強(qiáng)度是多少，LED都保持著一致的色溫。LED提供了高效而長壽命的照明，是材料學(xué)檢測應(yīng)用的理想工具。

 
通過鹵素?zé)臬@得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)        通過LED獲得的高光強(qiáng)和低光強(qiáng)

支持精密測量：自動校準(zhǔn)

類似于數(shù)碼顯微鏡，使用奧林巴斯Stream軟件時也能夠?qū)嵤┳詣有?zhǔn)。自動校準(zhǔn)消除了校準(zhǔn)過程中的人為變化因素，能夠獲得更可靠的測量結(jié)果。自動校準(zhǔn)的算法采用多個測量點(diǎn)的平均值來自動計(jì)算正確的校準(zhǔn)量。這就大程度減小了不同操作者產(chǎn)生的差異，保持了一致的精確性，提高了定期驗(yàn)證的可靠性。

無縫拼接：圖像陰影校正

可以用奧林巴斯Stream軟件完成陰影校正，以補(bǔ)償圖像角落四周的陰影。使用光強(qiáng)閾值設(shè)置時，陰影校正提供了更精確的分析。此外，使用MIA拼接圖像時，可以獲得更均勻的全景圖像。

1 x 3 MIA圖像 (示例:薄膜濾色片上的殘留)

左側(cè)圖片：圖像拼接時，原始圖像拼接處有陰影 
右側(cè)圖片：陰影校正后，整個視野照明均勻

應(yīng)用

反射光顯微鏡檢查涵蓋的應(yīng)用和行業(yè)非常廣泛，下面僅選擇了使用不同觀察方法效果的部分示例。

暗場觀察

暗場能夠觀察標(biāo)本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會反射這種光，而平整的部位則顯得很暗，因此缺陷部位就會清晰地顯示出來。用戶甚至可以識別出極細(xì)微的劃痕，或小到8nm級別的缺陷 – 比光學(xué)顯微鏡的分辨能力還要小。因此，暗場是檢測標(biāo)本上細(xì)微劃痕或缺陷，以及鏡面標(biāo)本（包括晶圓）的理想工具。

表面貼裝基板：DF

微分干涉觀察

微分干涉是一種顯微鏡觀察技術(shù)，這種技術(shù)把明場觀察所不能檢測到的標(biāo)本高度差，變?yōu)楦〉駹罨蛉S圖像，改善了圖像襯度。該技術(shù)使用了偏光，并有三種專門定制設(shè)計(jì)的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細(xì)微高度差的標(biāo)本的理想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質(zhì)和拋光晶圓表面。

球墨鑄鐵檢測：DIC

偏光觀察

這種顯微鏡觀察技術(shù)使用了由一套濾色片（檢偏鏡和起偏鏡）產(chǎn)生的偏光。標(biāo)本的特性直接影響顯微鏡反射光的強(qiáng)度。這種技術(shù)適用于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長的形態(tài)）、礦石、LCD和半導(dǎo)體材料。

絹云母：POL

熒光

該技術(shù)用于通過濾色片激發(fā)塊照明，使標(biāo)本能夠發(fā)出熒光（發(fā)出不同波長的光），特定的激發(fā)塊可用于特定的應(yīng)用。它適合于檢查半導(dǎo)體晶圓上的異物、光阻殘留物，以及通過熒光染料檢測裂縫。可以選配復(fù)消色差集光鏡系統(tǒng)的燈箱，以補(bǔ)償從可見光到近紅外光的色差。

半導(dǎo)體晶圓上的顆粒異物：FL

紅外光

IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構(gòu)成的電子元器件內(nèi)部的方法。

電極切片：IR

透射光觀察

對于透明樣品，比如LCD、塑料和玻璃材料，可以使用各種聚光鏡進(jìn)行透射光觀察。組建一個光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)透射光明場和偏光進(jìn)行樣品檢查非常方便。

*系統(tǒng)化

模塊化的設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)多種配置，以滿足用戶的各種要求。

用于材料學(xué)的配置

BX53M反射和反射/透射觀察

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動、編碼或電動部件，并且都配備有ESD防靜電功能。

BX53MRF-S配置圖例         BX53MTRF-S配置圖例

BX53M IR觀察

BX3M系列有兩種顯微鏡機(jī)架，一種僅用于反射光，一種用于反射光和透射光組合。兩種機(jī)架都可配置手動、編碼或電動部件，并且都配備有ESD防靜電功能。IR物鏡可用于透過硅材料成像，進(jìn)行半導(dǎo)體檢查和測量。配備了5倍到100倍紅外（IR）物鏡，提供了從可見光波長到近紅外的像差校正。對于高放大倍率的物鏡，配備了LCPLN-IR系列帶校正環(huán)的物鏡，校正由樣品厚度導(dǎo)致的像差。使用一個物鏡即可獲取清晰的圖像。

*1 孔徑光闌全開時計(jì)算的分辨率

*2 高到FN22，不適用于FN26.5

*3 使用1100nm波長

IR物鏡           無校正環(huán)    有校正環(huán)

BX53M偏光觀察

BX53M偏光顯微鏡具有鮮明的偏光成像，是地質(zhì)學(xué)家的理想之選。比如礦物鑒定、晶體光學(xué)特性的分析和巖石薄片的鑒定等各種研究，都得益于穩(wěn)定的顯微鏡系統(tǒng)性和精密的光學(xué)系統(tǒng)。

BX53M正像鏡檢偏光配置     BX53M錐光鏡檢偏光配置

用于錐光鏡檢和正像鏡檢的勃氏鏡

采用U-CPA錐光觀察附件使錐光鏡檢和正像鏡檢之間的切換簡單而快捷。可以清晰地對焦后焦平面的干涉圖樣。勃氏鏡的視場光闌使其能夠始終獲取銳利而清晰的錐光圖像。

偏光附件

無應(yīng)力光學(xué)元件

UPLFLN-P無應(yīng)力物鏡得益于奧林巴斯的設(shè)計(jì)和制造技術(shù)，將內(nèi)部應(yīng)力降到了低。這就意味著更高的EF值，從而可以得到的圖像反差。

UPLFLN-P無應(yīng)力物鏡

種類豐富的補(bǔ)色器和波長板

提供了六種不同的補(bǔ)色器，用于測量巖石和礦物薄片的雙折射。測量光程差水平范圍從0到20λ。針對更方便的測量和高圖像反差，可以使用Berek和Senarmont補(bǔ)色器，它們能在整個視場內(nèi)改變光程差級別。

補(bǔ)色器的測量范圍

* R=光程差水平

對于大多數(shù)精確測量，建議補(bǔ)色器（除U-CWE2以外）與干涉濾色片45-IF546組合使用。

BXFM系統(tǒng)

BXFM適合于特殊應(yīng)用，或整合進(jìn)其它儀器中。模塊化結(jié)構(gòu)，再加上各種特殊的小型照明器和固定裝置，使其可以直接用于*的環(huán)境和配置。

模塊化設(shè)計(jì)，構(gòu)建自己的系統(tǒng)

顯微鏡機(jī)架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時配備了一個適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。

支架

兩種顯微鏡機(jī)架可用于反射光；一種還具有透射光觀察能力。同時配備了一個適配器，以抬升照明器，適應(yīng)更高的樣品。顯微鏡檢查時如果樣品不適合放在載物臺上，可以在更大的支架上或其它設(shè)備上安裝照明器和光學(xué)元件。

BXFM + BX53M照明器配置

BXFM + U-KMAS照明器配置

鏡筒

使用目鏡進(jìn)行顯微鏡成像，或通過相機(jī)觀察時，請根據(jù)觀察過程中的成像類型和操作者的觀察姿勢選擇鏡筒。

照明器

照明器根據(jù)選擇的觀察方法將光線投射到樣品上。軟件與編碼照明器配套使用，可以讀出分光鏡組件的位置，并自動識別觀察方法。

光源

用于樣品照明的光源和電源，請根據(jù)觀察方法選擇合適的光源。

標(biāo)準(zhǔn)LED光源配置

熒光光源配置

鹵素?zé)艉望u素IR光源配置

物鏡轉(zhuǎn)換器

物鏡和滑塊的附件。選擇所需的物鏡數(shù)量和類型；以及是否帶滑塊附件。

滑塊

選擇DIC滑塊來補(bǔ)充常規(guī)的明場觀察。采用DIC滑塊后，在獲取有關(guān)樣品的形貌信息時，可以選擇高對比度型或高分辨率型。MIX組合式照明使用起來非常靈活，它在暗場光路中提供了分區(qū)的LED光源。

用于MIX組合式觀察的MIX滑塊

控制盒與手動控制器

控制盒用于組合使用顯微鏡硬件與PC，手動控制器用于硬件狀態(tài)顯示與控制

BX3M-CB（CBFM）配置

U-CBS配置

電纜

載物臺

用于放置樣品的載物臺和載物臺板。根據(jù)樣品形狀和尺寸進(jìn)行選擇。

150mm×100mm載物臺配置

100 mm×100 mm載物臺配置

52mm×76mm載物臺配置

其它

相機(jī)適配器

用于照相觀察的適配器?？蓮囊蟮囊曇昂头糯蟊堵手羞x擇。使用以下公式可以計(jì)算實(shí)際的觀察范圍：實(shí)際視野（對角線mm）= 視野（視場數(shù)）÷物鏡放大倍率。

目鏡

用于直接觀察顯微鏡的目鏡。根據(jù)所需的視野進(jìn)行選擇。

濾色片

光學(xué)濾色片可以將照射到樣品的光線進(jìn)行各種類型的轉(zhuǎn)換。根據(jù)觀察需要選擇合適的濾色片。

BF, DF, FL

POL, DIC

IR

透射光

使用BX3M-RLAS-S和U-FDICR時不需要AN和PO

其它

聚光鏡

聚光鏡能會聚和聚焦透射光線。用于透射光觀察。

分光鏡組件

用于BX3M-URAS-S的分光鏡組件。根據(jù)所需的觀察進(jìn)行選擇。

* 僅用于同軸反射照明

中間鏡筒

用于多種目的的各種類型的附件。在鏡筒與照明器之間使用。