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半導體微量光子檢測顯微鏡
半導體微量光子檢測顯微鏡
產(chǎn)品特征參數(shù)
軟件圖像處理功能
8寸高壓手動氣浮探針臺
紫外、可見光、紅外顯微光學系統(tǒng)
2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡
400 -1000 nm 或900-1700 nm響應波長
支持3000 V高壓偏置
相機與源表的一體化控制程序
應用方向
GaN與SiC 基功率器件
的漏電“熱點"定位
GaN基LEDs與結(jié)型探測
器的漏電“熱點"定位
Si基MOSFET與IGBT等功
率器件的漏電失效“熱
點"定位
GaAs基激光器光分布與
漏電“熱點"定位
常規(guī)的器件的靜態(tài)電學
參數(shù)測試。
相關系列有關于芯片失效與缺陷檢測都可以聯(lián)系我司,可看樣機測試