EH4200愛德華羅茨泵維修
EH機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),仍是受歡迎的泵,可用于壓力范圍為0.01至10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。
機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作,不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下,因此高度可靠。
應(yīng)用
半導(dǎo)體制程
真空蒸餾
真空包裝
鋼脫氣
薄膜覆層
真空冶金
低密度風(fēng)洞
空間模擬
真空浸漬
油干燥和脫氣
制藥冷凍干燥
CO2激光
產(chǎn)品優(yōu)勢
提高轉(zhuǎn)速,增大系統(tǒng)氣載處理能力
增加抽速,縮短系統(tǒng)抽空時間
變頻器參數(shù)經(jīng)專業(yè)調(diào)校,大限度提升泵運(yùn)行的可靠性
如發(fā)生冷卻水故障,變頻器會處理溫度探頭的信號,保護(hù)泵的運(yùn)行
電機(jī)按需出功,更節(jié)能
泵待機(jī)模式時,可通過降頻實(shí)現(xiàn)節(jié)能
能靈活地使用特殊工藝控制的要求
數(shù)字量和模擬量接口的電路集成簡單方便,通訊模塊可選
油霧過濾器
當(dāng)油回轉(zhuǎn)真空泵在大氣壓下啟動或粗真空下運(yùn)轉(zhuǎn)時,真空泵油會與被抽進(jìn)去的氣體一起排出。這種廢氣由許多微小的油滴組成,以煙霧的形式從泵的排氣口排出。 油霧過濾器可以確保一個清潔的環(huán)境,保護(hù)室內(nèi)設(shè)備免受油霧污染。
特點(diǎn)
• 過濾油霧。
• 減少噪音。
• 內(nèi)部濾芯更換方便。
• 油回收方法可選(選購件),與泵連接方便。
EH4200愛德華羅茨泵維修