機(jī)臺型號：PM17A
整機(jī)規(guī)格：2000(W)×1500(D)×1960(H)  mm
電極規(guī)格：17層平板式電極板（944W×790 D mm  (28W ×24D in)）
電源系統(tǒng)：10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統(tǒng)：PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制
進(jìn)氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點(diǎn)：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持

用 途：適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。
PTFE(鐵氟龍)高頻微波板沉銅前的孔壁表面改性活化（Modification）：提高孔壁與鍍銅層結(jié)合力，杜絕出現(xiàn)沉銅后黑孔；消除孔銅和內(nèi)層銅高溫?cái)嗔驯椎痊F(xiàn)象，提高可靠性。涂覆阻焊油墨前與絲印字符前板面活化：有效防止阻焊油墨及印刷字符脫落。