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                                                                                             規(guī)格

 手動(dòng)微機(jī)械手：8 個(gè)

 軸：4（XYZ 和傾斜）

 X 行程：10 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 傾斜：+/- 3 度

 磁性運(yùn)動(dòng) - 類似磁性底座

 探頭固定裝置

 2. 底板，機(jī)械手 SS 磁性底板，可調(diào)節(jié)支撐架 3.

 3. XYZ 手動(dòng)樣品支架，帶 4" SS 卡盤(pán) = 1 套

 X 行程：25 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 4. 探針臺(tái)雙目顯微鏡，帶 Boomstand 和 Z 聚焦臺(tái)=1 套

 光學(xué)系統(tǒng)：無(wú)限校正

 觀察方法：明視場(chǎng)

 照明 ： 反射式（同軸和成角度）

 照明系統(tǒng)：高亮度白色 LED

 鼻托：旋轉(zhuǎn)式，四重，帶正向精確單擊停止裝置

 觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48-75 毫米 IP 調(diào)整

 目鏡：10 倍寬視場(chǎng)目鏡，F(xiàn)N = 20 毫米，光圈可調(diào)。

 調(diào)焦：手動(dòng) Z 平臺(tái)

 物鏡：LWD Plan Apo 5 倍（NA = 0.14，WD = 34mm，視場(chǎng)角目鏡 = 4mm，視場(chǎng)角相機(jī) = 1.14mm x 0.856mm，對(duì)角線 1.426）

                                                                                               項(xiàng)目包括

 1. 帶 8 個(gè)微型機(jī)械手的探針站

 2. 底板、機(jī)械手 磁性 SS 底板、可調(diào)支撐架

 3. XYZ 手動(dòng)樣品支架，帶 4" SS 卡盤(pán)

 4. 探針臺(tái)雙目顯微鏡，帶 BOOM 支架和 Z 聚焦臺(tái)

                                                                                                 相機(jī)規(guī)格

光學(xué)格式：1/2.5 英寸 CMOS

有源成像器尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，對(duì)角線 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（500 萬(wàn)像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門(mén)類型 ： 電子滾動(dòng)快門(mén)（ERS）

幀頻 ： 全分辨率 - 高達(dá) 8 幀/秒，VGA - 高達(dá) 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位，片載

像素動(dòng)態(tài)范圍：70.1 dB

工作溫度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 時(shí)為 381mW

接口：USB2.0