目錄:鄭州科探儀器設(shè)備有限公司>>材料樣品檢測>>真空探針臺>> 氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 面議 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子 | 自動化度 | 半自動 |
1、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
測試夾具要求:可實(shí)現(xiàn)XYZ移動;
測試腔:同時滿足靜態(tài)/動態(tài)測試,304不銹鋼材質(zhì),可在紫外燈下保證氣密性測試;
測試樣品數(shù):同時測試8個樣品,可進(jìn)行頻率-阻抗測試、插指電極和場效應(yīng)管測試;
測量溫度:室溫---300 ℃
控溫精度:±1 ℃
顯示精度:±0.1 ℃
測溫傳感器:PT100
升溫斜率:1-10 ℃/min
通訊類型:RS485
加熱功率:500 W
測試腔容積<2 L
2、氣體環(huán)境密封 6探針真空探針臺測試腔
流量計數(shù)量:5個,(根據(jù)客戶需求標(biāo)定 氣體 量程 進(jìn)氣口和出氣口)
流量規(guī)格:500 ml/min
精準(zhǔn)度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)
重復(fù)精度:±0.2% F.S
響應(yīng)時間:≤1 s
密封形式:金屬密封
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本
該探針臺的承片臺X/Y/Z三個方向均可在真空環(huán)境下調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:0-30mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;z方向調(diào)節(jié)范圍:0-13mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準(zhǔn)檢測點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測。
接頭尺寸:6 mm
漏率:<1×10-8 Pa·m3/s
通訊接口:RS485
4、樣品12*10mm,探針可移動范圍x-y 1-10mm,z軸
5、每個樣品上方一個紫外燈,四個燈連成燈串外置一個可控開關(guān)。紫外燈可更換,樣品上方2cm。
6、加熱板上有個鍍金襯底,用來連接?xùn)艠O。
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