特點：
納米高度測量儀MTM-3020MA是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業(yè)領域。
特點：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動測量
4. 內建偏光測量光學模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度
納米高度測量儀MTM-3020MA技術規(guī)格參數(shù)：
型號 | MTM-3020MA | ||||
工作臺 | 金屬臺尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃臺尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y軸運動行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手動Z軸行程(mm) | 120 | ||||
自動Z軸行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
儀器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自動Z軸分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) | ||||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可調高亮度鹵素燈 | ||||
底光照明光源 | 可調高亮度LED燈源 | ||||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機 | |||
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |||
單層透明膜厚度測量模組 | |||||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | ||||
厚度測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm | |
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