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詳細介紹
SGC-1A橢圓偏振測厚儀近代科學技術的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛，因此，測得薄膜厚度和光學參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際工作中，常常使用橢圓偏振法來進行測量。這種方法測量靈敏度和精度較高，并且是非破壞性測量。他能同時測定薄膜的厚度和折射率。
本產品為手動方式調節(jié)儀器，測量薄膜的厚度和光學參數(shù)。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結構功能，調節(jié)方法，使用戶可詳細的了解橢圓儀的原理結構，并培養(yǎng)其動手操作能力。
SGC-1A橢圓偏振測厚儀參數(shù)
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°～180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |
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