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13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單"的臺式 高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng) 多種用途。
特征
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS
13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式 高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應(yīng) 多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導(dǎo)體相關(guān)部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 內(nèi)槽
日本雅馬拓等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 規(guī)格
管路連接圖
