詳細(xì)介紹
美國(guó)派克parker不銹鋼止回閥超高壓不銹鋼止回F9 系列是一種高純度的產(chǎn)品,所有焊接止回閥提供高CV 0.90,占地面積小,以節(jié)省所需的面板空間。 F9適合半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用,閥管線箱/多處理器,氣柜制造商。
parker電磁閥部門(mén)的F9系列超高壓止回閥提供改進(jìn)的性能和兼容性,具有zhuang利的非對(duì)稱彈簧設(shè)計(jì)一直安靜的操作和低流量的限制與競(jìng)爭(zhēng)。F9兩密封材料滿足所有半氣體相容性的要求,降低客戶庫(kù)存,滿足更廣泛的應(yīng)用。組裝和封裝在一個(gè)類100級(jí)潔凈室,F(xiàn)9系列產(chǎn)品是為超高純度半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)的。
美國(guó)派克parker不銹鋼止回閥市場(chǎng)半導(dǎo)體晶圓廠天然氣公司特點(diǎn)/好處:
無(wú)噪音操作與zhuang利的非對(duì)稱彈簧設(shè)計(jì)
焊接設(shè)計(jì)減少足跡
100級(jí)潔凈室組裝和包裝
電解拋光(EP)的超高純度應(yīng)用版本
vericlean™ 316L不銹鋼電解拋光和腐蝕性能提高
美國(guó)派克PARKER閥應(yīng)用閥門(mén)歧管箱/板煤氣柜氣棒工具掛鉤
閥體材料 | 非常清潔的316L不銹鋼材質(zhì) |
彈簧材料 | 非磁性合金,當(dāng)量 |
密封材料 | 氟碳彈性體(氟橡膠) 全氟彈性體(全氟橡膠) |
閥芯材料 | 316L 不銹鋼 |
閥座材料 | 316 不銹鋼 |
流速 | Cv: 0.45 (X 0.89) (1/4" Tube Stub) - 0.90 (X 0.78) (1/4" & 1/2" Face Seal) - 0.90 (X 0.78) (3/8" & 1/2" Tube Stub) |
內(nèi)部泄漏率 | 氣密 |
外部泄漏率 | 外部泄漏率為 1 x 10-9 scc/sec(內(nèi)側(cè)的試驗(yàn)方法) |
表面處理 | 省略(10 RA鈍化(STD),黃金標(biāo)簽(EP)7 RA的電解拋光,藍(lán)色的標(biāo)簽) |
體積 | 0.14 inch3 / 2.29 cm3 (1/4" Face Seal Male) |
重量 | 0.15(1/4"面密封(外))-0.07(1/4"短管) lb |
2.4(1/4"面密封(外))-1.2(1/4"短管) oz | |
大入口額定壓力 | Fluorocarbon Elastomer, FKM: 3000 | Perfluoroelastomer, FFKM: 1000 psig |
260公斤(氟碳,氟橡膠)-68公斤( 全氟彈性體 ,全氟橡膠) barg | |
大背壓 | 3,000 (Fluorocarbon Elastomer, FKM); 1,000 (Perfluoroelastomer, FFKM) psig |
260公斤(氟碳,氟橡膠)-68公斤( 全氟彈性體 ,全氟橡膠) barg | |
開(kāi)啟壓力 | 0.13 bar |
2 psi | |
重設(shè)壓力 | ≤ 2 |
psig | |
≤ 0.13 | |
barg | |
zui高運(yùn)行溫度 | 66 °C |
150 °F | |
低運(yùn)行溫度 | -23 °C |
-10 °F |
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