在現(xiàn)代工業(yè)生產和科學研究中,潔凈室是至關重要的環(huán)境,而塵埃粒子計數(shù)器就像一位忠誠的 “守護神",守護著潔凈室的純凈與安全。
潔凈室的等級劃分主要依據塵埃粒子的數(shù)量和粒徑大小。從 ISO 1 級到 ISO 9 級,對塵埃粒子的控制要求越來越寬松,但即使是相對寬松的 ISO 9 級潔凈室,也對塵埃粒子有著明確的限制。塵埃粒子計數(shù)器是確定潔凈室等級和監(jiān)控其運行狀態(tài)的關鍵儀器。它可以準確測量潔凈室內每立方米空氣中不同粒徑的塵埃粒子數(shù)量,從亞微米級到數(shù)微米級的粒子都能精確檢測。例如,在 ISO 1 級潔凈室中,每立方米空氣中大于等于 0.1 微米的塵埃粒子數(shù)不得超過 10 個,這種超高精度的要求只有通過塵埃粒子計數(shù)器才能實現(xiàn)監(jiān)測。
在潔凈室的日常運行中,塵埃粒子計數(shù)器持續(xù)工作,為維護潔凈環(huán)境提供依據。它可以設置不同的采樣周期和采樣點,全面覆蓋潔凈室的各個區(qū)域。在芯片制造的潔凈室中,塵埃粒子計數(shù)器在晶圓加工區(qū)、光刻區(qū)、封裝區(qū)等關鍵部位設置采樣點,實時監(jiān)測塵埃粒子的濃度變化。如果某個區(qū)域的塵埃粒子濃度突然升高,可能是空氣過濾系統(tǒng)出現(xiàn)故障、人員操作不當或設備運行產生的揚塵等原因導致。通過塵埃粒子計數(shù)器的監(jiān)測數(shù)據,工作人員可以迅速定位問題所在,并采取相應的措施,如更換過濾器、加強人員培訓或對設備進行維護。
對于不同類型的潔凈室,塵埃粒子計數(shù)器都能發(fā)揮出色的作用。在制藥潔凈室中,它確保藥品生產環(huán)境的無菌性和穩(wěn)定性。在光學儀器制造潔凈室中,它防止塵埃粒子對光學鏡片和組件的污染,保證光學性能。在航空航天零部件制造潔凈室中,它避免塵埃粒子對高精度零部件的損害,保障產品質量。而且,塵埃粒子計數(shù)器可以與潔凈室的空氣凈化系統(tǒng)、通風系統(tǒng)等聯(lián)動。當檢測到塵埃粒子濃度超標時,可以自動調節(jié)空氣凈化系統(tǒng)的運行參數(shù),如增加空氣循環(huán)次數(shù)、提高過濾效率等,使?jié)崈羰冶M快恢復到規(guī)定的潔凈狀態(tài)。