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        1. 武漢賽斯特精密儀器有限公司
          初級(jí)會(huì)員 | 第5年

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          臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀)

          參  考  價(jià)面議
          具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

          產(chǎn)品型號(hào)

          品       牌其他品牌

          廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

          所  在  地武漢市

          更新時(shí)間:2021-03-22 14:11:09瀏覽次數(shù):2631次

          聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
          產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工
          臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀) 根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

          臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀)

          臺(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器 [1] 。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺(tái)階測(cè)量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測(cè)量原理是:當(dāng)觸針沿被測(cè)表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號(hào)經(jīng)測(cè)量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信號(hào)。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號(hào)從調(diào)幅信號(hào)中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號(hào)。再經(jīng)噪音濾波器、波度濾波器進(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號(hào)以及波度等因素對(duì)粗糙度測(cè)量的影響。

          臺(tái)階儀(探針式表面輪廓儀)

          規(guī)格

          測(cè)量技術(shù) 探針輪廓技術(shù)

          測(cè)量功能 二維表面輪廓測(cè)量

          可選三維測(cè)量/

          樣品視景 可選放大倍率, 1 to 4mm FOV

          探針傳感器 低慣量傳感器 (LIS 3)

          探針壓力 使用LIS 3傳感器:1 至 15mg

          低作用力(選配) 使用N-Lite+低作用力傳感器:0.03至 15mg

          探針選項(xiàng) 探針曲率半徑可選范圍: 50nm至25μm

          高徑比 (HAR)針尖:10μm x 2μm和200μm x 20μm;

          可按客戶要求定制針尖

          樣品X/Y載物臺(tái) 手動(dòng) X-Y 平移:100mm (4 英寸)

          機(jī)動(dòng)X-Y 平移:150mm (6 英寸)

          樣品旋轉(zhuǎn)臺(tái) 手動(dòng),360°旋轉(zhuǎn);

          機(jī)動(dòng):360°旋轉(zhuǎn);

          計(jì)算機(jī)系統(tǒng) 64-bit 多核并行處理器, Windows® 7.0; Optional 23英寸平板顯示器

          軟件 Vision64操作及分析軟件;

          應(yīng)力測(cè)量軟件;懸臂偏轉(zhuǎn);

          縫合軟件;三維掃描成像軟件

          減震裝置 減震裝置可用

          掃描長(zhǎng)度范圍 55mm (2英寸)

          每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) *多可達(dá)120,000數(shù)據(jù)點(diǎn)

          樣品厚度 50mm (2英寸) 晶圓尺寸 200mm (8英寸)

          臺(tái)階高度重現(xiàn)性 <5Å, 1σ在1μm臺(tái)階上

          垂直范圍 1mm (0.039英寸)

          垂直分辨率 1Å ( 6.55μm垂直范圍下) 輸入電壓 100 – 240 VAC, 50 – 60Hz

          溫度范圍 運(yùn)行范圍20 到 25°C (68到77°F)

          濕度范圍 ≤ 80%, 無冷凝

          系統(tǒng)尺寸及重量 455mm W x 550mm D x 370mm H  (17.9in. W x 22.6in. D x 14.5in. H); 34公斤(75磅); 

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