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T81-50探針臺專注于物理、化學和材料等領(lǐng)域的科學儀器研發(fā)、制造、銷售、服務為一體的綜合型高科技企業(yè)。為廣大科研工作者提供磁性、低溫、高溫、真空、的實驗環(huán)境。

自2011年成立至今，已研發(fā)出各種類型的電磁鐵、液氮型低溫恒溫器、液氦型超低溫恒溫器、制冷機系統(tǒng)集成、高溫真空磁場退火爐系統(tǒng)、Helmholtz線圈全套解決方案、高穩(wěn)定性雙極性電源、霍爾測量系統(tǒng)、電輸運測量系統(tǒng)、磁光克爾測試系統(tǒng)、高低溫磁場真空探針臺測試系統(tǒng)等，并可根據(jù)用戶需求，定制出各種類型的實驗產(chǎn)品。

這些產(chǎn)品可以用于很多領(lǐng)域，包括半導體，微機電系統(tǒng)，超導體，電子學，鐵電體，材料學，物理學和光學等。低溫探針可用于桌面或獨立系統(tǒng)，包括一個使用液氦或液氮（溫度范圍從低于4K到475K，可選600K）的超高效率連續(xù)流系統(tǒng)，且提供不對樣品造成任何振動的快速冷卻法。探測設(shè)備使用典型的單系統(tǒng)四探針法（也支持雙探針，六探針或八探針）測量直流脈沖，低頻率信號或微波信號或同時使用兩種信號。我們制造的每套系統(tǒng)都采用標準的品質(zhì)工藝。所生產(chǎn)的產(chǎn)品已經(jīng)成為您所有的對于標準和定制低溫系統(tǒng)的需求的選擇。

T81-50探針臺選型注意事項

※大需要測幾inch的晶圓或者器件？是否需要測試破片或者單顆芯片，小的單顆芯片尺寸？
※探針臺機械精度要求多高？ 
※點測樣品的電極尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線路？ 
※多需要幾個探針同時去點測？ 
※是否會用到探針卡測試？ 
※光學顯微鏡的小分辨率需要用到多少？ 
※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點偵測？ 
※探針點測時，對電流的要求是否達到100fa或者以下？低

電容要求是否要做到0.1pf？是否有射頻需求？ 
※接駁的測試儀器接口有哪些？ 
※測試環(huán)境時是否會需要加熱或者降溫？ 是否需要密閉腔體？
※對chuck的漏電要求怎樣？是否需要添加低阻抗chuck？ 
※是否需要防震桌？ 
※若添置防震桌，是否有壓縮空氣？

T81-50探針臺產(chǎn)品概述：

可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設(shè)計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動，器件的高頻特性(支持67GHz頻率)，探針熱沉設(shè)計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。

T81-50探針臺應用范圍：

高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。

T81-50探針臺可選附件：

þ 防震桌

þ 多級壓縮制冷機

þ 機械泵/分子泵組/離子泵

þ 射頻部件

þ 各類型頻率真空接頭

þ 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…

þ 各類探針夾具

þ Chuck運動裝置

þ 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)

þ 1Mpa正壓系統(tǒng)

þ 超高溫升級選件

þ 超高真空升級選件

T81-50探針臺技術(shù)指標：