你有真正的了解晶圓檢測(cè)設(shè)備嗎
閱讀:1900 發(fā)布時(shí)間:2020-9-9
你有真正的了解晶圓檢測(cè)設(shè)備嗎
晶圓檢測(cè)設(shè)備主要針對(duì)晶圓切割后的外觀檢測(cè),比如:尺寸,破損,裂粒,氣孔,裂痕,鎳層不良等等。所以也叫做晶圓切割檢測(cè)設(shè)備,是靠機(jī)器視覺(jué)來(lái)實(shí)現(xiàn)檢測(cè)的。
晶圓是微電子產(chǎn)業(yè)的行業(yè)術(shù)語(yǔ)之一。它集成電路生產(chǎn)企業(yè)把這些硅棒用激光切割成極薄的硅片(圓形),然后在上面用光學(xué)和化學(xué)蝕刻的方法把電路、電子元器件做上去,做好之后的每片硅片上有大量的一片片的半導(dǎo)體芯片(小規(guī)模電路或者三極管的話,每片上可以有3000-5000片),這些加工好的圓形硅片就是晶圓。
晶圓檢測(cè)設(shè)備適用于半導(dǎo)體芯片的晶粒級(jí)或晶圓級(jí)的外觀檢測(cè)。本機(jī)采用高性能的視覺(jué)處理軟件及高精度的視覺(jué)系統(tǒng),搭配多組數(shù)字光源,配備有自動(dòng)上下片系統(tǒng),能全自動(dòng)完成對(duì)芯片多種外觀缺陷的準(zhǔn)確檢測(cè)??扇〈鷤鹘y(tǒng)人工目檢檢測(cè)方式,效率更高,檢測(cè)一致性更好。
本產(chǎn)品的工作過(guò)程是通過(guò)振動(dòng)盤自動(dòng)上料,根據(jù)設(shè)定的速度送到玻璃盤上,再通過(guò)攝像頭的拍攝,傳送到軟件,通過(guò)特點(diǎn)的算法分析產(chǎn)品的外觀,并自動(dòng)分揀良品及次品。它的特點(diǎn)是自動(dòng)上下料,檢測(cè)速度可達(dá)400-1200顆/分鐘,精度可達(dá)1μ,準(zhǔn)確率99.99%。
晶圓檢測(cè)設(shè)備為自動(dòng)化切割后晶粒檢測(cè)設(shè)備,使用*的打光技術(shù),可以清楚的辨 識(shí)晶粒的外觀瑕疵。結(jié)合不同的光源角度、亮度 及取像模式,使得7940可以適用于LED、雷射二極體及光敏二極體等產(chǎn)業(yè)。我們可以通過(guò)它來(lái)代替人工檢測(cè),效率及準(zhǔn)確率要得到很大的提升,這也是晶圓檢測(cè)儀器越來(lái)越火的原因。