應(yīng)用領(lǐng)域 |
食品,農(nóng)業(yè),建材 |
參數(shù) |
具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑 |
Piezoconcept 納米定位器三軸LFHS2技術(shù)參數(shù)
這種納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器,高速掃描和短于2毫秒的階躍響應(yīng)時間是可能的。
Piezoconcept 納米定位器三軸LFHS2技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品簡介
LFHS2是一款2軸超高速納米精密定位器,沿X和Y方向的行程范圍可達(dá)75米,具有66毫米x 66mm毫米的大孔徑,兩軸的諧振頻率均高于2kHz。如果需要,它還可以與集成的Z軸(50米行程范圍)一起使用(參見3軸型號LFHS3).
這種壓電載物臺可以與粗定位微載物臺結(jié)合使用(參見我們的混合系統(tǒng)).
這種納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器,高速掃描和短于2毫秒的階躍響應(yīng)時間是可能的。
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品參數(shù):
運動范圍(um):30
分辨率(nm):0.03
噪聲下限(nm典型值)0.003
重復(fù)性(nm):0.06
線性化(典型值共振頻率(Hz):0.02%
線性化:0.02%
剛度(N/um)0.6
傳感器尺寸Wx L x H(mm):120.8x120.7x28.5
材料電纜長度(m):2
控制器最大負(fù)載:1
水平使用垂直使用:0.5
諧振頻率XY(Hz):3000/2000
剛度XY(N/um):4/3
Piezoconcept 納米定位器三軸LFHS2技術(shù)參數(shù)