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菲佐干涉儀帶編碼器導(dǎo)軌系統(tǒng)(HO-OFIZ-216A)
閱讀：15 發(fā)布時(shí)間：2024-11-21菲佐干涉儀是干涉儀之一，常用于平面和球面的常規(guī)測(cè)量。它可用于測(cè)量平面、棱鏡、透鏡等光學(xué)部件，或軸承、密封面或拋光陶瓷等精密金屬部件?？墒褂渺o態(tài)條紋分析軟件進(jìn)行測(cè)量。干涉儀基本上配有高光學(xué)質(zhì)量（λ/20）的基準(zhǔn)平面。測(cè)試表面的反射與參考平面的反射發(fā)生干涉，產(chǎn)生條紋。條紋的形狀和質(zhì)量取決于測(cè)試平面的表面質(zhì)量。使用高分辨率 CCD 相機(jī)對(duì)條紋進(jìn)行數(shù)字化處理。
規(guī)格
最大樣品尺寸：≤ 100 毫米
參考光學(xué)鏡組：可接受 任何標(biāo)準(zhǔn)卡口支架
精度： ≤ λ/20 PV
激光源：DPSS 5.0 mW / 632.8 He-Ne 激光器
光束擴(kuò)展器： 帶針孔的 60 倍 顯微鏡物鏡
準(zhǔn)直透鏡：焦距 500 毫米，直徑 100 毫米的消色差透鏡
對(duì)準(zhǔn) ： 基于相機(jī)
攝像頭 1：300 萬(wàn)像素 CCD，分辨率可選
攝像頭 2：500 萬(wàn)像素 CCD，分辨率可選
分析：使用 邊緣分析軟件（開放邊緣和快速邊緣）
重量：約 25 千克
電源：220 伏，50 赫茲
平移臺(tái)： 帶光學(xué)編碼器的手動(dòng) 線性平移臺(tái)
行程和分辨率： 行程長(zhǎng)度為 1200 毫米，分辨率為 2 微米
編碼器輸出：帶 計(jì)算機(jī)接口和軟件
光學(xué)設(shè)置
空間濾波器組件和正消色差透鏡用于擴(kuò)大和準(zhǔn)直氦氖激光。準(zhǔn)直透鏡之后是固定的參考平面。光線從參考平面反射回來(lái)。在擴(kuò)束器附近放置一個(gè)立方體分光鏡，將反射光反射到變焦鏡頭和 CCD 上。其中一部分反射光落在用于對(duì)準(zhǔn)模式的相機(jī) 1 上。來(lái)自測(cè)試樣品的反射光也沿著相同的路徑反射并相互干擾。