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          UNIPOL-1203化學機械磨拋機

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          • UNIPOL-1203化學機械磨拋機
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          參考價 面議
          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 型號
          • 品牌 合肥科晶
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 南京市
          在線詢價 收藏產(chǎn)品

          更新時間:2021-03-03 15:12:14瀏覽次數(shù):428

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          產(chǎn)品簡介

          產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價格區(qū)間 面議
          應用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,石油
          產(chǎn)品簡介:UNIPOL-1203化學機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

          詳細介紹

          產(chǎn)品名稱

          UNIPOL-1203化學機械磨拋機

          安裝條件

          本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

          1、水:設備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及下排水

          2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

          3、氣:無

          4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上

          5、通風裝置:不需要

          主要特點

          1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。

          2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。

          3、設有兩個加工工位,可分別進行控制。

          4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。

          5、配置自動滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光。

          6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。

          7、研磨部分采用防腐材料,耐化學腐蝕。

          技術(shù)參數(shù)

          主機部分

          GPC-100A精密磨拋控制儀

          自動滴料器

          1、電源:220V

          2、功率:450W

          3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

          4、磨拋工位:2個

          5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔

          6、托盤端跳:0.008/250mm

          7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

          8、載樣盤:φ105mm

          9、修盤環(huán):φ127.5mm

           

           

          1、載樣盤直徑:Ø103mm

          2、載樣盤軸向行程:12mm

          3、數(shù)顯表精度:0.001mm

          4、載樣盤可調(diào)加載壓力:

                      0.1kg-2.1kg

          5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g

          6、樣品裝卡方式:真空吸附

          7、承載樣件尺寸:

            直徑≤103mm、 厚度≤12mm

          8、尺寸:外徑146mm,高266mm

           

          SKZD-2滾筒滴料器

          1、容積:1.5L

          2、流量:0-35ml/min

          3、尺寸:170×290×350mm;

            重量:3kg

          SKZD-4自動滴料器

          1、加液泵:4個

          2、料液瓶:600ml/瓶

          3、計時范圍:1-999min

          4、流量:0.1ml/min-10ml/min

          5、尺寸:230×370×450mm;

            重量:10kg

          產(chǎn)品規(guī)格

          1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

          2、重量:74Kg

          標準配件

          1

          鑄鐵研磨盤1個研磨盤

          2

          不銹鋼拋光盤

          1個

          3

          載物盤

          1個

          4

          修盤環(huán)

          1個

          5

          SKZD-2滴料器

          1個

          滴料器

          6

          SKZD-4自動滴料器

          1個

          滴料器

          7

          GPC-100A精密磨拋控制儀

          1個

          8

          拋光墊

          (磨砂革、合成革、聚氨酯)

          各1片

          9

          剛玉研磨微粉

          0.5kg

          10

          石蠟棒

          4根

          可選配件

          1、YJXZ-12攪拌循環(huán)泵

          2、精密測厚儀

          3、陶瓷研磨盤

          4、玻璃研磨盤

          5、磁性樹脂金剛石研磨片

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