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          5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐

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          • 5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐
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          具體成交價以合同協(xié)議為準
          • 型號 OTF-1200X-RTP-II-5
          • 品牌 合肥科晶
          • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
          • 所在地 南京市
          在線詢價 收藏產(chǎn)品

          更新時間:2021-03-23 11:13:21瀏覽次數(shù):285

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          5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一款快速熱處理爐,其爐腔體是一直徑為11英寸的石英管。此款設備專門實際針對于熱蒸發(fā)或CSS(Close Spaced Sublimation)鍍膜實驗,其鍍膜面積可達到5“x5“。此款高溫爐的加熱元件是兩組紅外燈管(分別位于頂部和底部),升溫速率為 20°C/s。

          詳細介紹

          產(chǎn)品參數(shù)

          爐體結(jié)構(gòu)和真空腔體采用兩個溫度控制器,分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計,可向真空腔體中通入氣體 真空腔體為一高純的石英管,其尺寸為∶ 11" OD10.8 Dx9 Hmm
          真空法蘭真空法蘭為316不銹鋼制作 頂部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個14"軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口,可以與真空泵相連接,另外安裝有兩個14"軟管接頭的進氣口法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封,用機械泵其腔體內(nèi)真空度可達10²tr,用分子泵其腔體內(nèi)真空度可達10-tor.
          加熱元件和載樣臺由兩組紅外燈管作為加熱元件,分別位于頂部和底部 兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍為∶2-50mm 為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率,加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中,(不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作) 采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片(5"×5×0.5mm厚度)作為載樣臺,以達到較好的加熱均勻性底部載樣臺上可放入5"x5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機(16L/m)
          溫控系統(tǒng)兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū),可設置30段升降溫程序每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護 FC通訊接口,軟件可安裝,可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中
          工作溫度工作溫度為∶800℃兩個加熱區(qū)之間的溫差頂值為300℃
          加熱和冷卻速率加熱速率> 8℃s(每個溫區(qū)單獨加熱)冷卻速率> 10℃/s (600.100°C)
          熱電偶兩個K型熱電偶,安裝在頂部和底部,都與氮化鋁陶瓷片相接觸
          工作電壓208-240VAC,單相,(需要20A的空氣開關(guān))
          功率3000w
          可選實驗時需要一個真空泵,可與本公司選購真空泵采用機械泵可使腔體內(nèi)的真空度達到k=10E-2 torr若要使真空腔體內(nèi)達到更潔凈的工作環(huán)境,可換購無油泵 也可選購質(zhì)子流里計混氣系統(tǒng),將實驗所需氣體安比列混好后導入到真空腔體中
          質(zhì)保一年質(zhì)保期,終生維護(不包括密封圈、加熱元件和石英管)
          使用注意事項爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 擋爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度<1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于002MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

           

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