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        1. 深圳市中圖儀器股份有限公司

          剖析激光干涉測量技術(shù)應(yīng)用:在多領(lǐng)域展現(xiàn)精準(zhǔn)測量魅力

          時(shí)間:2024-10-17 閱讀:296
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          激光干涉測量技術(shù)具有高精度、高分辨率、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括:

          1. 工業(yè)制造領(lǐng)域

          (1)機(jī)床精度檢測與校準(zhǔn):激光干涉儀可用于測量機(jī)床各軸線性運(yùn)動(dòng)的位移、角度、直線度、垂直度、平行度等,幫助調(diào)試和校準(zhǔn)機(jī)床的加工精度,還能用于機(jī)床結(jié)構(gòu)在不同工況下的動(dòng)態(tài)特性分析,以優(yōu)化機(jī)床設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)。例如,在數(shù)控機(jī)床的生產(chǎn)和裝配過程中,通過激光干涉測量技術(shù)對機(jī)床的運(yùn)動(dòng)精度進(jìn)行檢測和調(diào)整,可有效提高機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。

           (2)精密加工工藝監(jiān)測:實(shí)時(shí)監(jiān)測機(jī)床在加工過程中工件表面的動(dòng)態(tài)位移和直線度等參數(shù),對加工過程中的性能參數(shù)進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析,評估加工質(zhì)量和穩(wěn)定性,有助于優(yōu)化加工工藝。比如在半導(dǎo)體制造中,對光刻機(jī)等精密設(shè)備的位移進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測和調(diào)整,確保芯片的光刻精度。

           (3)零部件尺寸和形狀檢測:可以檢測零部件的尺寸誤差和形狀誤差,如對汽車發(fā)動(dòng)機(jī)缸體、活塞等零部件的尺寸和形狀進(jìn)行高精度測量,保證零部件的質(zhì)量和裝配精度。

           (4)光學(xué)元件檢測:在光學(xué)元件的生產(chǎn)制造中,用于檢測透鏡的曲率半徑、表面粗糙度、薄膜膜厚、光學(xué)元件的形狀等。例如,通過激光干涉測量技術(shù)可以精確測量透鏡的曲率半徑,從而保證光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量。

          2. 計(jì)量檢定領(lǐng)域

          (1)測長機(jī)檢定:傳統(tǒng)的測長機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn),受環(huán)境因素影響較大,且量程大于 1m 的測長機(jī)需要分段校準(zhǔn),效率低。而使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn),不僅可以提高效率,還可通過環(huán)境補(bǔ)償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補(bǔ)償,提高校準(zhǔn)精度。

          檢定測長機(jī).jpg

          SJ6000激光干涉儀鑒定測長機(jī)

          (2)三坐標(biāo)測量機(jī)示值誤差測量:隨著三坐標(biāo)測量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展,使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機(jī)的檢測要求,激光干涉儀測量準(zhǔn)確度高,測量范圍大,測量數(shù)據(jù)豐富,適合測量三坐標(biāo)各項(xiàng)幾何誤差。

          三坐標(biāo)測量.jpg

          (3)位移傳感器檢定:利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點(diǎn)是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。

          傳感器線性精度測量.jpg

          SJ6000激光干涉儀測量傳感器線性精度

          3. 航空航天領(lǐng)域

          (1)飛機(jī)零部件裝配和檢測:在飛機(jī)的生產(chǎn)過程中,對飛機(jī)零部件的裝配精度要求高。激光干涉測量技術(shù)可用于測量飛機(jī)機(jī)翼、機(jī)身等部件的尺寸、形狀和位置精度,確保飛機(jī)的安全性能和飛行性能。例如,對飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的安裝角度和位置進(jìn)行精確測量,保證發(fā)動(dòng)機(jī)的正常運(yùn)行。

          (2)衛(wèi)星姿態(tài)控制和軌道測量:衛(wèi)星在太空中的姿態(tài)控制和軌道測量需要高精度的測量技術(shù)。激光干涉測量技術(shù)可以用于測量衛(wèi)星的微小位移和振動(dòng),為衛(wèi)星的姿態(tài)控制提供數(shù)據(jù)支持;同時(shí),也可以用于衛(wèi)星軌道的精確測量,確保衛(wèi)星的運(yùn)行軌道符合設(shè)計(jì)要求。

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