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SuperViewW1白光干涉測量儀系統(tǒng)具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測。并且其特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。
性能特點
【3D測量,一覽無余】
采用白光干涉技術(shù),結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié),隨意翻轉(zhuǎn)縮放,助您輕松觀察、測量樣品的任意特征。
【功能強大,參數(shù)齊全】
粗糙度、平面度、孔洞分析等3D測量功能全部囊括,距離、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標準的300余種特征參數(shù)。
【操作便捷,簡單明了】
直觀的操作界面,操作流程一目了然,自動聚焦,一鍵實現(xiàn)測量過程;可視化的工作流程樹,一鍵激活的圖庫管理功能,所見即所得的分析功能,有一鍵分析功能。
【高重復精度,穩(wěn)定可靠】
采用了掃描模塊和內(nèi)部抗振設(shè)計,可實現(xiàn)高0.05%的測量精度重復性和0.002nm的粗糙度RMS重復性。
【兩種型號,量身定制】
W1系列白光干涉儀提供1100單鏡頭手動版和1200多鏡頭自動版兩種機型,另可針對不同的測量需求,在兩種型號間選取不同配置進行組合。
【廣泛應(yīng)用,貼心服務(wù)】
可測2D/3D輪廓、粗糙度,300余種特征參數(shù)……光學3D表面輪廓儀在半導體、精密加工及微納材料等領(lǐng)域可得到廣泛應(yīng)用,光滑硅晶片表面粗糙度、精密非球面弧面線粗糙度、金字塔型磁頭夾角、微透鏡陣列曲率半徑……
SuperViewW1白光干涉測量儀系統(tǒng)分辨率0.1μm,重復性0.1%,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。