當前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>共聚焦顯微鏡>> VT6100中圖激光共聚焦顯微鏡
中圖激光共聚焦顯微鏡VT6000基于共聚焦技術原理,主要測量表面物理形貌,進行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品功能
1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)設備具備自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量;
3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,預先設置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能;
4)設備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)設備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;
激光共聚焦顯微鏡所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學顯微鏡。傳統(tǒng)光學顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機來采集圖像,對于低照度的光,如熒光無法探測到,而共聚焦顯微鏡系統(tǒng)使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管,對微弱的熒光信號可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度,并且還可以通過縮小激發(fā)范圍并使用光學切片來消除背景噪聲。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細,橫向分辨率更高。
產(chǎn)品特點
1)結構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅動,實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設計;
2)真彩圖像:VT6000中圖激光共聚焦顯微鏡配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);
3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;
4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。