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無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
對(duì)潔凈室設(shè)計(jì)需要留意許多細(xì)節(jié),特別是電子行業(yè)中,比如關(guān)于潔凈室的風(fēng)速、風(fēng)量、塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度等相關(guān)數(shù)據(jù)都需要進(jìn)行一定的檢測(cè)。為了提供更加專(zhuān)業(yè)、安全、高效的生產(chǎn)環(huán)境,所有者必須按照潔凈室工程相關(guān)的規(guī)范,完成一個(gè)合格的潔凈室設(shè)計(jì)。
在無(wú)塵車(chē)間當(dāng)中,需要用到的凈化設(shè)備非常之多,比如進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)、回風(fēng)系統(tǒng)、自?xún)羝?、潔凈棚、緩沖區(qū)等,這些都是為了讓產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。在無(wú)塵車(chē)間中,我們需要用儀器來(lái)測(cè)量空氣中的塵埃微粒數(shù)量以及粒徑分布,這樣可以為空氣潔凈度的評(píng)定提供依據(jù),而激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器就是用來(lái)測(cè)量空氣中塵埃微粒的數(shù)量及粒徑分布的儀器,常見(jiàn)的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器是光散射式(DAPC)的,測(cè)量粒徑范圍0.1-10μ m,此外還有凝聚核式的激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器( CNC),可測(cè)量尺寸更小的塵埃粒子。
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