流量不穩(wěn)定(Flow unstable/Having Spike)
實(shí)際流量偏差超出規(guī)格(Actual flow out of SPEC)
流量無法控制 (Flow cannot be controlled)
響應(yīng)時(shí)間延遲 (Flow response time delay)
已修復(fù)MFC保修:6個(gè)月
耗材更換:O形圈、金屬密封、閥門、電氣部件
MFC內(nèi)的氣體配件和管道清潔(超聲波和化學(xué))
MFC集成PCB修復(fù)
完井測試(功能和泄漏)
MFC內(nèi)部和外部泄漏測試
MFC特定點(diǎn)流量測試
MFC設(shè)定點(diǎn)流量特定循環(huán)測試
MFC功能老化測試(10小時(shí))