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			一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
			
          
			
			
          
				
          
					
          發(fā)證機(jī)構(gòu)：
          
					
          國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

          
				                      
          生效日期：
          2021-12-07

          
                                    
          截止日期：
          長(zhǎng)期
          				
				
          認(rèn)證簡(jiǎn)介：
					
          一種基于壓電控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制器
          
				
          
			
          
		
          
		
          
			
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             一種真空隔熱的MEMS流量傳感器            
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             一種基于電磁控制閥的MEMS質(zhì)量流量控制             
          
		
          
	
          





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