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緊湊型質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的微機(jī)電（MEMS）流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款更緊湊的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有進(jìn)口電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，超高的集成度使該產(chǎn)品能夠縮小一半體積，可以更好的適用于空間要求嚴(yán)格的安裝場(chǎng)所。

產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過(guò)程控制、氣體混合配比

緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：

溫度和壓力不敏感

設(shè)計(jì)勁湊，可安裝任意位置

超快的響應(yīng)速度

良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性

采用液晶觸控顯示和控制