測(cè)量?jī)x器

LFP 以 40 納米的分辨率測(cè)量衍射極限焦點(diǎn)處的強(qiáng)度分布。

世界上極少能揭示任何激光設(shè)備的性能和像差的納米級(jí)光束輪廓儀。

概覽

激光焦點(diǎn)輪廓儀（LFP）是用于測(cè)量激光焦點(diǎn)附近強(qiáng)度分布的精密測(cè)量?jī)x器。LFP 是世界上極少能夠測(cè)量由高數(shù)值孔徑（NA）透鏡形成的超細(xì)焦點(diǎn)的產(chǎn)品。

激光焦點(diǎn)附近的強(qiáng)度分布是許多激光微/納米技術(shù)的關(guān)鍵性能指標(biāo)。它評(píng)估激光顯微鏡的空間分辨率、激光束加工的效率、光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的記錄密度、基于光鑷的力測(cè)量系統(tǒng)的彈簧常數(shù)、顯微鏡物鏡的性能。

使用 CCD/CMOS 相機(jī)的光束輪廓儀作為商業(yè)產(chǎn)品，可用于傳播激光束橫截面的強(qiáng)度分析。然而，由于像素尺寸大（至少超過(guò)一微米）導(dǎo)致的空間分辨率有限，很難直接應(yīng)用于帶有顯微鏡物鏡的激光焦點(diǎn)。要將此輪廓儀應(yīng)用于小于像素尺寸的焦點(diǎn)，需要用光學(xué)元件放大焦點(diǎn)并將其成像在探測(cè)器上。然而，這種放大方法可能會(huì)引入不想要的像差；很難對(duì)準(zhǔn)，并且要求放大光學(xué)元件具有比用于聚焦激光束的更高的 ????。

刀刃法是另一種已被提出的原位技術(shù)，但由于刀刃的鋒利度、偽影等若干原因，尚未針對(duì)小激光焦點(diǎn)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。

LFP 利用 40 納米大小的金納米粒子，能夠高精度地測(cè)量?jī)H有幾百納米的高數(shù)值孔徑（~1.4）透鏡的焦點(diǎn)。

特點(diǎn)

l高分辨率（40 納米；納米粒子的大小）

l適用于高數(shù)值孔徑聚焦透鏡（～1.4）

l高度為 26 毫米的緊湊型傳感器，可在顯微鏡載物臺(tái)上操作

l無(wú)需調(diào)整

l精確測(cè)量原理（無(wú)像差，最小化偽影）

l三維測(cè)量

應(yīng)用

l激光顯微鏡

l激光加工

l激光制造

l光學(xué)存儲(chǔ)器

l光鑷

l光學(xué)裝置整體

l包括液體浸沒(méi)透鏡在內(nèi)的各種顯微鏡物鏡

規(guī)格

零件清單

l包括消耗性探頭的 LFP 傳感器

l掃描儀（如果您選擇）

l控制器

l筆記本電腦

l電纜

LFP 傳感器

掃描儀

控制器