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Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片
將 EUV 與 NIR 激光源分開
透射型熔融石英設(shè)計最大限度地延長組件使用壽命
支持 13.5nm、20nm 和 30nm 應(yīng)用
Edmund 極紫外 (EUV) 二向色濾光片，也稱為光束分離器，旨在通過在 EUV 和 NIR 波長之間提供高分離效率，用于高諧波產(chǎn)生應(yīng)用。 這些濾光片采用高損傷閾值多層增透膜設(shè)計，支持比布魯斯特角光束分離器和 EUV 濾光片更高的激光功率。 EUV 二向色濾光片具有從 5nm 到 40nm 的寬帶寬范圍。 除了產(chǎn)生高次諧波外，這些反射鏡還可用于支持 EUV 應(yīng)用的系統(tǒng)，例如 EUV 光刻、EUV 納米加工和等離子體實驗。
通用規(guī)格
| 尺寸容差 (mm): | +0.0/-0.2 | 直徑 (mm): | 50.80 |
| 厚度 (mm): | 5.08 ±0.1 | 鍍膜: | Dielectric Multilayer AR |
| 基底: | Fused Silica | 表面質(zhì)量: | 20-10 |
| 平行度（弧分）: | <5 | 面形計算 (RMS): | <λ/10 @ 633nm |
產(chǎn)品型號
| 波長范圍 (nm) | 產(chǎn)品編碼 |
| 10 - 25 | #18-279 |
| 20 - 40 | #18-280 |
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