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        1. Nanoscope Systems lnc
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          NS3500 L-高速3D激光共聚焦顯微鏡
          • NS3500 L-高速3D激光共聚焦顯微鏡
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          貨物所在地:國外

          地: ?? ???

          更新時間:2024-11-29 16:12:22

          瀏覽次數(shù):83

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          NS-3500是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種解決方案。

          NS3500L 三維激光共聚焦顯微鏡

          NS-3500L 是一種準(zhǔn)確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),可以為半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等提供各種的解決方案。

          Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):

          • 高分辨無損傷光學(xué)3D測量                               自動傾斜補(bǔ)償

          • 實(shí)時共焦成像                                                 簡單的數(shù)據(jù)分析模式

          • 多種光學(xué)變焦                                                 雙Z掃描

            大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

          • 實(shí)時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準(zhǔn)備

          • 自動聚焦

           

          Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):

          NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

          可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

          -半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

          - FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

          - MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

          -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

          -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

           

           

           

          Specification(規(guī)格):

          ?Model

          Microscope  NS-3500

          備注

           

                               NS-3500E

          物鏡倍率

          10x

          20x

          50x

          100x

          150x

           

          觀察/  測量范圍  

          水平 (H): μm

          1400

          700

          280

          140

          93

           

          垂直 (V): μm

          1050

          525

          210

          105

          70

           

          工作范圍: mm

          16.5

          3.1

          0.54

          0.3

          0.2

           

          數(shù)值孔徑(N.A.)

          0.30

          0.46

          0.80

          0.95

          0.95

           

          光學(xué)變焦

          x1 to x6

           

          總放大倍率

          178x to 26700x

           

          觀察/測量光學(xué)系統(tǒng)  

          Pinhole共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

           

          高度測量

          測量掃描范圍

          精細(xì)掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

           

          長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

          顯示分辨率

          0.001 μm

           

          重復(fù)率 σ

          0.010 μm

          注 1

          寬度測量

          顯示分辨率

          0.001 μm

           

          重復(fù)率 3σ

          0.02 μm

          注 2

          幀記憶

          像素

          1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

           

          單色圖像

          12 bit

           

          彩色圖像

          8-bit for RGB each

           

          高度測量

          16 bit

           

          幀速率

          表面掃描

          20 Hz to 160 Hz

           

          線掃描

          ~8 kHz

           

          自動功能

          自動增益

           

          激光共焦測量光源

          波長

           405nm

           

          輸出

          ~2mW

           

          激光等級

          Class 3b

           

          激光接收元件

          PMT (光電倍增管)

           

          光學(xué)觀察光源

          10W LED

           

          光學(xué)觀察照相機(jī)

          成像元件

          1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

           

          記錄分辨率

          640x480

           

          自動調(diào)整

          增益, 快門速度, White balance

           

          數(shù)據(jù)處理單元

           PC

           

          電源

          電源電壓

          100 to 240 VAC, 50/60 Hz

           

          電流消耗

          500 VA max.

           

          重量

          顯微鏡

          Approx. ~50 kg

          (Measuring head unit : ~12 kg)

           

          控制器

          ~8 kg

           

           

          注 1 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品(步長1μm)進(jìn)行100次測量                                                                   

          注 2 :以100×/ 0.95物鏡對標(biāo)準(zhǔn)樣品(5μm間距)進(jìn)行100次測量。

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