產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
STRUERS司特爾TargetMaster元器件微拋光機(jī)
可見和隱藏目標(biāo)的自動(dòng)目標(biāo)準(zhǔn)備
TargetSystem 事實(shí)
微電子元件的靶材制備
自動(dòng)可靠的目標(biāo)準(zhǔn)備
可見和隱藏目標(biāo)的分析
大大縮短準(zhǔn)備時(shí)間
不依賴操作員技能
*重現(xiàn)性
無需昂貴的研磨膜
TargetSystem 設(shè)計(jì)用于微電子元件的目標(biāo)制備和延遲。它是第一個(gè)允許對可見和隱藏目標(biāo)(例如微孔和 BGA)進(jìn)行實(shí)時(shí)對齊和測量的故障分析工具。系統(tǒng)精度非常出色 +/- 5.0 µm。
STRUERS司特爾TargetMaster元器件微拋光機(jī)
準(zhǔn)備時(shí)間短
智能制備系統(tǒng) (IPS) 根據(jù)實(shí)際樣品特性和研磨/拋光表面自動(dòng)調(diào)整去除時(shí)間和速率。這意味著更少的測量和準(zhǔn)備時(shí)間,降至不到 30 分鐘。
再現(xiàn)性
自動(dòng)化流程使 TargetSystem 獨(dú)立于操作員技能,無論操作員如何,都能確保重現(xiàn)性。
低運(yùn)營成本
TargetSystem 可以與任何 SiC 紙或任何其他耗材一起使用,并且不需要昂貴的研磨膜。
案例故事:博世工程中心 Cluj 如何提高 5 μm 內(nèi)隱藏目標(biāo)制備的精度。
TargetMaster
200 毫米微拋光機(jī),用于自動(dòng)目標(biāo)制備。包括用于 30 mm 樣品和 200 mm MD-Disk 的可傾斜支架。
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