目錄:筱曉（上海）光子技術(shù)有限公司>>其他連續(xù)激光器>>X射線激光器>> EUV-B-XRAY20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 | 組成要素 | 自由電子激光器 |
激光源產(chǎn)生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的，由高脈沖能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于氣體電離產(chǎn)生。不同的目標(biāo)氣體對應(yīng)不同的能譜分布。
● 低殘留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● 低耗氣量（氣體脈沖持續(xù)時(shí)間：<1 ms）
● 簡單目標(biāo)氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
● 計(jì)量：反射測量、吸收
● 光譜學(xué)（nexafs）
● 光學(xué)/傳感器測試
● EUV損壞調(diào)查
● 材料相互作用基礎(chǔ)研究
● 水窗顯微鏡（λ=2..4納米）
參數(shù) | 單位 | 指標(biāo) |
產(chǎn)品編號 | EUV-B-XRAY | |
工作波長 | nm | 20nm |
脈寬 | ns | 7 |
脈沖能量（Xe） | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
轉(zhuǎn)換效率 | % | 0.45 |
等離子形狀 | NA | ? ~ 300 µm |
重復(fù)頻率 | HZ | 10 |
測試數(shù)據(jù)展示：
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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