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產(chǎn)品型號(hào)

    25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

主要特點(diǎn)

    1、配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚，用于支撐石墨坩堝，并防止熱量輻射。

    2、設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫，可設(shè)置30段升降溫程序，設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

    4、配有防腐型真空計(jì)，當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可

           到3.8×10E-5 torr。

    5、配有雙旋直連式機(jī)械泵。

技術(shù)參數(shù)

　高頻感應(yīng)加熱爐

    1、工作電壓：三相AC 380 V  50Hz（需60 A空氣開關(guān)）

    2、zui大輸入功率：15KW

    3、振蕩頻率：30KHz-80 KHz

    4、循環(huán)比：80%

    5、感應(yīng)線圈：外徑Φ120mm，內(nèi)徑Φ110 mm，高50 mm（可微調(diào)）

　溫度控制器

    1、工作電壓：AC208V-240V  單相

    2、控溫精度：±5℃

    3、溫度：連續(xù)工作溫度1000℃-2000℃，zui高工作溫度1700℃（工作時(shí)間<30min）

    4、zui大升溫速率：1℃/s（0-1000℃）、0.5℃/s（1200℃-1700℃）

　石墨坩堝（易耗件）

    1、高純石墨坩堝：外徑Φ40mm，內(nèi)徑Φ37.1mm，高100.5mm（可選購SiC涂層，涂在坩堝內(nèi)部，以

                                     提高金屬熔煉時(shí)的潔凈度）

    2、zui大容量：樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2

　石英管和密封法蘭

    1、石英管：外徑Φ100mm，內(nèi)徑Φ92mm，長355mm

    2、頂部法蘭：不銹鋼法蘭，裝有不銹鋼針閥，設(shè)有1個(gè)鎧裝接口（可插入熱電偶至石英管內(nèi)部，更

                              準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度）

    3、底部法蘭：設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口（可通過波紋管與真空泵相連接）

　水冷機(jī)

    1、溫度：5℃-30℃

    2、水流速：16L/min

    3、水箱容積：12L，采用不銹鋼制作

  （建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到*的冷卻效果）

　真空泵

    1、工作電壓：AC208V-240V單相

    2、抽氣速率：120L/min

    3、極限真空度：10^-2torr

  （為了獲得更高的真空度以達(dá)到更好的熔煉效果，可選購渦旋分子泵，真空度可達(dá)10E-5torr）

注意事項(xiàng)

　操作前，必須仔細(xì)閱讀說明書，且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)

   氬氣下進(jìn)行，流量小于200ml/min，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時(shí)刻注意石

   英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過安全值，會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出，甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

　本機(jī)可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。