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產品型號

    GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀

主要特點

    1、可以調節(jié)電流大小，可設置濺射時間。

    2、已經過CE認證。

技術參數

    1、輸入電源：208V-240V  50Hz/60Hz

    2、樣品臺：Φ60mm，高度可調節(jié)

    3、石英腔體：Φ100mm×130mm

    4、進氣口：內部裝有閥門，可以向腔體內通入各種氣體

    5、靶材：純度為4N的金靶，Φ57mm×0.12mm

產品規(guī)格

　尺寸：480mm×320mm×150mm；重量：20kg

可選配件

    1、Au（Φ57mm×0.12mm，4N）

    2、Pt（Φ57mm×0.12mm，4N）

    3、Ag（Φ57mm×0.5mm,4N）