當(dāng)前位置:安捷倫科技(中國(guó))有限公司>>公司動(dòng)態(tài)>>本周四系列線上講座即將開啟!聚焦Cary 7000全領(lǐng)域應(yīng)用新紀(jì)元
本周四系列線上講座即將開啟!聚焦Cary 7000全領(lǐng)域應(yīng)用新紀(jì)元
光譜儀是材料光學(xué)性能表征的通用手段,而材料的光學(xué)性能則決定了其在實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的作用效果,因此實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的光學(xué)評(píng)估至關(guān)重要?;?UMA 附件的自動(dòng)化設(shè)計(jì),使用安捷倫 Cary7000 UMS 全能型分光光度計(jì)可以顯著節(jié)省光學(xué)表征的測(cè)試時(shí)間,提高測(cè)試效率,并能在光學(xué)材料、涂層和組件的自動(dòng)化多角度光譜表征中廣泛應(yīng)用。
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使用 Cary7000 UMS,可以實(shí)現(xiàn):
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可變角度的絕對(duì)反射率和透射率的測(cè)試;
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采集一次基線即可用于各個(gè)角度下的透射和反射;
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測(cè)試透射和反射,樣品不需要取出,入射光照射在樣品上的同一個(gè)點(diǎn);
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正角度和負(fù)角度分別測(cè)試,給出各自結(jié)果和平均結(jié)果;
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設(shè)置好采樣序列后,儀器自動(dòng)分析,無需人值守。
圖 1. Agilent Cary 7000 UMS。B. 全能型測(cè)量附件包,Cary 7000 UMS 標(biāo)配。UMA 是一套真正的多模式測(cè)量系統(tǒng),能夠進(jìn)行絕對(duì)反射率、透射率和散射分析
在實(shí)際生產(chǎn)過程中,滿負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)的沉積室中常會(huì)涂覆大面積、通常呈圓形的襯底晶片。若能在晶片被切割之前獲取其表面準(zhǔn)確的光學(xué)信息將是非常有意義的。
安捷倫 Cary 7000 UMS 可以搭配自動(dòng)進(jìn)樣器(auto sampler)進(jìn)一步提升測(cè)試性能。如圖所示,自動(dòng)進(jìn)樣器安裝在 UMA 的大樣品室內(nèi),位于樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸上方。得益于這種設(shè)計(jì),自動(dòng)進(jìn)樣器不會(huì)限制 UMA 的基本功能。在此基礎(chǔ)上,該設(shè)計(jì)還為樣品定位增加了 2 個(gè)自由度。這些額外的自由度是指圍繞入射光束軸 (I0) 的徑向方向 (z) 和旋轉(zhuǎn)方向 (Φ)。分析人員可根據(jù)不同的樣品類型選擇多種樣品支架,用于安放多個(gè)單獨(dú)的樣品(最多安放 32 個(gè)直徑 1 英寸的樣品)或單個(gè)大直徑樣品(最大直徑 200 mm,8 英寸)。這讓固體自動(dòng)進(jìn)樣器成為了升級(jí) Cary 7000 UMS 的理想之選,儀器升級(jí)后可對(duì)大批量光學(xué)件進(jìn)行光學(xué)表征,還能對(duì)體積更大的單個(gè)樣品進(jìn)行空間測(cè)繪,其實(shí)際分辨率極限可低至 2 mm×2 mm。
圖 2. 安捷倫固體自動(dòng)進(jìn)樣器相對(duì)于入射光束 I0 的坐標(biāo)系統(tǒng)
使用安捷倫 Cary7000 UMS + auto sampler 自動(dòng)進(jìn)樣器,可以實(shí)現(xiàn):
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進(jìn)一步提高生產(chǎn)力,單次自動(dòng)運(yùn)行中測(cè)量多達(dá) 32 個(gè)樣品;
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大樣品(最大 8 英寸),空間涂層均勻性確認(rèn);
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分辨率低至 2 mm x 2 mm;
圖 3. 安捷倫固體自動(dòng)進(jìn)樣器測(cè)試示意
以面掃為例,我們將自動(dòng)進(jìn)樣器配置為按表 1 中所示的測(cè)繪特征驅(qū)動(dòng)樣品。該測(cè)繪特征包括通過晶片直徑的 8 根線,角分辨率 Φ = 22.5°。每根線表示間隔 5 mm 的 27 個(gè)空間點(diǎn),以及 92 mm 和 93 mm 處朝向邊緣的兩個(gè)較小的步長(zhǎng)間隔。我們將 Cary 7000 UMS 設(shè)置為在分析波長(zhǎng)下對(duì)每個(gè)測(cè)量點(diǎn)進(jìn)行短波長(zhǎng)掃描。準(zhǔn)備就緒之后,Cary 7000 UMS 將與自動(dòng)進(jìn)樣器協(xié)同工作,進(jìn)行完全自動(dòng)化地采集。
表 1. 晶片分析實(shí)驗(yàn)采用的測(cè)繪特征和采集條件
圖 4. 7°入射角下,晶片中心的 Rs 光譜
圖 4 所示為 UV(250 nm)到 NIR(2500 nm)范圍內(nèi)采集到的涂層晶片 s 偏振反射光譜。我們從晶片中心處的光斑采集光譜,因?yàn)轭A(yù)計(jì)該點(diǎn)處的涂層質(zhì)量最佳。通過此光譜可清晰表明,光學(xué)干涉涂層的設(shè)計(jì)意圖是使在 950 nm 至 1150 nm 的窄帶寬內(nèi),1064 nm 左右的光反射率高于 99%。
圖 5. 1064nm 處的測(cè)繪特征(%Rs:左側(cè);%Rp:右上)
在測(cè)繪實(shí)驗(yàn)中,我們使用 Cary 7000 UMS 和自動(dòng)進(jìn)樣器按照表 1 所示的測(cè)繪特征在 s 偏振和 p 偏振下采集 1064 nm 下晶片的反射特性。圖 5 所示為利用 1064 nm 下的反射率值對(duì)測(cè)量點(diǎn)到中心的距離進(jìn)行繪圖得到的測(cè)繪特征。這些特征表明,在 s 偏振和 p 偏振下,從晶片中心到邊緣的反射率均有所下降。各條曲線之間的高度相似性和一致性表明晶片具有中心對(duì)稱的光學(xué)輪廓。通過隨后的目視檢查,可將 90° 弦線上 80 mm 直徑處以及 67.5° 弦線上 85 mm 直徑處的 Rs 和 Rp 異常值直接歸因于晶片表面的污染。
在本案例中,我們使用 Agilent Cary 7000 UMS 和固體自動(dòng)進(jìn)樣器成功分析了直徑 200 mm 的預(yù)切割晶片的涂層均勻性。所得的曲線表明晶片中心到邊緣的涂層質(zhì)量逐漸有所下降。該信息可用于找出并克服涂層工藝中潛在的問題。此測(cè)繪分析可用于質(zhì)量控制,還可應(yīng)用于開發(fā)過程,以最大限度提高效率并減少材料的投入和浪費(fèi)。
并且,Cary 7000 和固體自動(dòng)進(jìn)樣器可廣泛適用于在各種工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中對(duì)光學(xué)材料、涂層和組件進(jìn)行自動(dòng)化常規(guī)多角度的光譜表征。
2024 年,安捷倫將推出一系列線上講座以重點(diǎn)展示 Cary 7000 在不同領(lǐng)域的實(shí)踐應(yīng)用。最新一期的“光學(xué)薄膜設(shè)計(jì)加工與分析測(cè)量”專題講座將于 2024 年 1 月 18 日下午 2 點(diǎn)正式開播,其中亦會(huì)聚焦于安捷倫固體進(jìn)樣器附件的詳細(xì)介紹。誠(chéng)摯歡迎各行業(yè)專家們參與,助推行業(yè)水平新發(fā)展!