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Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款專用真空泵系統，是針對薄膜沉積設備精心設計的渦輪分子泵。其葉片級數和整個泵結構均經過優(yōu)化，能夠在高溫負載和很高氬氣流下工作。
這款Turbo-V 3K-G 分子泵設計堅固，適用于惡劣的制造環(huán)境。典型的工業(yè)真空鍍膜應用，包括太陽能板和平板顯示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠設計和先進的集成電子設備，使其成為真空鍍膜行業(yè)的最佳分子泵解決方案。
特性
專為薄膜沉積應用而設計的分子泵解決方案
經優(yōu)化適用于很高的氬氣流量
集成式泵和控制器可安裝在任何位置，操作簡單，占地面積小
支持高氣體流速，能夠使用 DN 250 實現高通量應用
耐用設計、高效運行的冷卻系統可實現連續(xù)運行
氣體吹掃可保護泵軸承，在存在系統污染物和微粒的情況下可實現無縫運行
低噪音，不會對系統產生任何影響
免維護軸承，零運行成本
通過 Vacuum Link 應用程序實現無線控制，以便隨時隨地進行泵操作并可選配 Profibus
通用電子接口，包括模擬 I/O 信號和 RS232/RS485，用于通過 A-Plus 軟件實現遠程控制
性能指標
| He 壓縮比 |
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| N2 壓縮比 |
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| 前級管道法蘭尺寸 |
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| 前級耐壓 — N2 |
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| 啟動時間 |
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| 工作位置 |
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| 建議采用的前級泵容量 |
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| 抽速 — Ar |
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| 抽速 — He |
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| 抽速 — N2 |
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| 操作環(huán)境溫度 |
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| 極限真空 |
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| 標準和認證 |
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| 法蘭類型 |
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| 貯存環(huán)境溫度 |
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| 重量 |
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| 額定轉速 |
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