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更新時(shí)間：2024-10-28 13:40:37瀏覽次數(shù)：1249評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,綜合 |
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀
•實(shí)時(shí)、多組分監(jiān)控所有大宗電子氣中的關(guān)鍵雜質(zhì)包括痕量
O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, NH3, Xe等
•久經(jīng)考驗(yàn)、性能強(qiáng)大的質(zhì)譜技術(shù)
•通過(guò)配置的雙離子源，覆蓋從PPT到100的分析量程范圍。
•通過(guò)集成可視化的用戶界面實(shí)現(xiàn)自動(dòng)標(biāo)定功能，操作非常簡(jiǎn)單。
•專業(yè)的客戶服務(wù)和應(yīng)用支持團(tuán)隊(duì)
EXTREL_APIMS-痕量大氣壓離子質(zhì)譜儀產(chǎn)品描述
•可靠的超純氣體生產(chǎn)和供應(yīng)
•一臺(tái)分析儀分析所有雜質(zhì)
•全自動(dòng)，實(shí)時(shí)雜質(zhì)報(bào)警功能
•可靠的24/7工藝保護(hù)
•晶圓產(chǎn)能
VeraSpec APIMS不僅分析速度快、靈敏度高，而且操作簡(jiǎn)單，可用于連續(xù)監(jiān)控氮?dú)?、氬氣、氦氣、氧氣和氫氣的供?yīng)需求。通過(guò)對(duì)ppt級(jí)別雜質(zhì)的快速響應(yīng)大程度保護(hù)電子制造工藝。
擁有Extrel VeraSpec APIMS，保護(hù)您的半導(dǎo)體生產(chǎn)
超純氣對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)非常重要。通過(guò)對(duì)超純氣純度的連續(xù)監(jiān)測(cè)可以確保半導(dǎo)體設(shè)備的產(chǎn)能。其被雜質(zhì)污染后的代價(jià)是非常昂貴的。
半導(dǎo)體工廠需要連續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)工藝氣的純度，雜質(zhì)的檢測(cè)限至低ppt級(jí)別。
要達(dá)到如此低的檢測(cè)下限，方式就是應(yīng)用大氣壓離子質(zhì)譜儀。在20多年里，APIMS已經(jīng)被應(yīng)用在科學(xué)研究和檢測(cè)工業(yè)在線微量氣體的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。
基于四極桿技術(shù)的Extrel VeraSpec APIMS系統(tǒng)能檢測(cè)的氣體含量和氣體組分范圍非常寬泛。同時(shí)儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性、重復(fù)性是大多數(shù)應(yīng)用所必須要求的。
為了追求優(yōu)的性能、穩(wěn)定性和運(yùn)行時(shí)間，在半導(dǎo)體氣體分析領(lǐng)域，Extrel 是運(yùn)用19mmTri-filter四極濾質(zhì)器的質(zhì)譜儀生產(chǎn)商。
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