Certas WING 化學(xué)氣體干法刻蝕機(jī)

“Certas WING"設(shè)計用于加工300mm晶圓，是Certas的代系統(tǒng)。這是一種 ，高產(chǎn)量的氣體化學(xué)蝕刻系統(tǒng)，可以在不使用清洗液的情況下進(jìn)行表面蝕刻和清洗。與濕式清潔相比，已經(jīng)干燥的處理單元不使用化學(xué)品，不需要昂貴的廢物處理設(shè)備，并且具有改進(jìn)的可維護(hù)性。它了水印，并提供了各種氧化膜蝕刻的選擇比例，細(xì)微的界面清潔控制，與TEL清潔系統(tǒng)一起使用時具有更高的靈活性。它支持從批量生產(chǎn)到下一代開發(fā)的廣泛應(yīng)用。

特征
的氧化膜選擇性蝕刻和氣體化學(xué)品預(yù)處理

新的腔室設(shè)計實現(xiàn)了高吞吐量（大約兩倍）和小占用空間

無等離子處理可實現(xiàn)耗材的高正常運(yùn)行時間和低成本

應(yīng)用
氧化硅膜的蝕刻和回蝕

硅觸點預(yù)清洗