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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 差壓式 |
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價格區(qū)間 | 面議 | 介質分類 | 氣體&液體 |
應用領域 | 石油,能源,電子,電氣,綜合 |
科里奧利質量流量控制器其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
在大多數(shù)流量儀表上0.6%的讀數(shù)精度
4 ms響應時間
無需預熱
四個過程變量
內(nèi)置的顯示
工業(yè)協(xié)議
壓力補償
溫度補償
寬動態(tài)流量范圍
科里奧利質量流量控制器技術參數(shù):
1 | 量程范圍 | ?。?~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM ?。?~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
5 | 響應時間 | 電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec |
6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
7 | 耐壓 | 3MPa |
8 | 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
9 | 數(shù)字量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
10 | 模擬量 | DC 0~5V ,4~20mA 可選 |
11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA |
12 | 電氣連接 | DB15 |