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          GRYLLS5900-格里爾斯質(zhì)量流量控制器
          • GRYLLS5900-格里爾斯質(zhì)量流量控制器
          舉報

          貨物所在地:江蘇無錫市

          更新時間:2024-09-15 21:00:06

          瀏覽次數(shù):965

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          ( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝?。?/p>

          格里爾斯質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括:電子工藝設(shè)備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

           格里爾斯質(zhì)量流量控制器工作原理:

            氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司特別的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

          注意:

            質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣標(biāo)定.

            質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標(biāo)準(zhǔn)毫升/分); SLM (標(biāo)準(zhǔn)升/分)

            標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度-----273.15K (0℃);

            氣壓-----101325 Pa (760mm Hg)

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           格里爾斯質(zhì)量流量控制器主要技術(shù)指標(biāo)

          1

            量程范圍

            (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM

            (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM

          2

            準(zhǔn)確度

            ±1%F.S ±0.5%F.S

          3

            線性

            ±0.5~1.5%F.S

          4

            重復(fù)精度

            ±0.2%F.S

          5

            響應(yīng)時間

            電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec

          6

            工作壓差

            0.1~0.5MPa

          7

            耐壓

            3MPa

          8

          工作環(huán)境溫度

            0~70℃

          9

            數(shù)字量

            RS485 MODBUS協(xié)議

          10

            模擬量

            DC 0~5V ,4~20mA 可選

          11

            供電

            DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA

          12

            電氣連接

            DB15

          13

            漏率

            1×10\u001F-8SCCSHe

          14

            底座材質(zhì)

            316L不銹鋼

          15

            密封材質(zhì)

            氟橡膠,丁晴橡膠,氯丁橡膠

          16

            氣路接頭

            Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞



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